旋转NbOx靶材技术规格书.pdf

文件编号： YR-WI-107 版本号码 A0 旋转 NbOx 靶材 文件名称： 页 码 第 1 页 共 6 页 技术规格书 旋转NbOx 靶材 技术规格书 编制部门：技术质量部 芜湖映日科技有限公司 No:YR-WI-107 Ver:A0 文件编号： YR-WI-107 版本号码 A0 旋转 NbOx 靶材 文件名称： 页 码 第 2 页 共 6 页 技术规格书 文 件 更 改 记 录 NO. 日 期 修 改 内 容 纪 要 修改人 章节 备注 1 2015-12-17 New added. ALL A0 需要发行的单位： （需要配布之单位请申请部门在对应部门前 “√”） □ 业务部 □ 技术质量部 □ 生产安全部 □ 设备动力部 □ 计划财务部 □ 人事行政部 编 制 审 核 核 准 发行 No:YR-WI-107 Ver:A0 文件编号： YR-WI-107 版本号码 A0 旋转 NbOx 靶材 文件名称： 页 码 第 3 页 共 6 页 技术规格书 1、产品生产概述 1.1 旋转NbOx 靶材制备工艺: 以等离子体为热源将粉末材料加热到熔融或半熔融状态并高 速冲击背管表面形成致密涂层，从而制备出高纯度、高致密度 靶材。 1.2 旋转NbOx 靶材广泛应用于光学、光电子等行业是专业的镀 膜材料。 2、组成成份 NbOx 3、产品分析方法 分析仪器 判定特性 等离子发射光谱仪 （ICP） 化学成分 金相显微镜 晶粒组织 No:YR-WI-107 Ver:A0 文件编号： YR-WI-107 版本号码 A0 旋转 NbOx 靶材 文件名称： 页 码