磁控溅射法制备的PZT非晶薄膜光学性质研究-中国科学院上海技术.PDF

Vo1．23．No．3 Vo l. 23 , No.3 第 23 卷第 3 期 红外与毫米波学报 第23卷第3期 红 外与毫米波学报 June，2004 2ω4 年6 月 June ,2004 2004年6月 Infrared Millim．Waves J. Infrared Millim. Waves J． 文章编号:1∞1 … 9014(2∞4)03 0181 叫 04 文章编号：1001—9014(2004)o3—0181—04 磁控溅射法制备的 PZT 非晶薄膜光学性质研究 磁控溅射法制备的PZT非晶薄膜光学性质研究 胡志高， 赖珍签， 黄志明， 王根水， 石富文， 椅君浩 胡志高， 赖珍荃， 黄志明， 王根水， 石富文， 褚君浩 (中国科学院上海技术物理研究所，红外物理国家重点实验室，上海 2α泊83) (中国科学院上海技术物理研究所，红外物理国家重点实验室，上海 200083) 摘要:采用磁控溅射方法在石英玻璃上制备了 PbZr， Ti ,0) (阳T) (x =0. 52) 非晶聋膜，并测量了 2∞ -11∞nm 的 摘要：采用磁控溅射方法在石英玻璃上制备了PbZrxTi。一 O (PZT)( ：0．52)非晶薄膜，并测量了200—1100nm的 j 紫外．可见．近红外透射光谱．基于薄膜的结构和多层结构的透射关系，发展了仅有6个拟合参数的光学常数计算 紫外-可见-近红外透射光谱.基于薄膜的结构和多层结构的透射关系，皮展了仅有 6 个拟合参数的光学常数计算 模型．利用该模型，可以同时获得薄膜在宽波段范围内的光学常数和厚度，得到折射率的最大值为2．68，消光系数 模型.利用该模型，可以问时获得薄膜在宽波段范围内的光学常数和厚度，得到折射率的最大值为 2.68 ，消光系数 的最大值为 0.562 ，拟合薄膜厚度为 318.1nm. 根据 Tau(s 法则，得到 PZT 非晶薄膜的直接禁带宽度为 3.75eV. 最 的最大值为0．562，拟合薄膜厚度为318．1nm．根据Tauc S法则，得到PzT非晶薄膜的直接禁带宽度为3．75eV．最 后，利用单电子振荡模型成功地解释了薄膜的折射率色散关系 后，利用单电子振荡模型成功地解释了薄膜的折射率色散关系． 关键词:PbZr， Ti _τ0) ;非晶薄膜;折射率 1 禁带宽度 关 键 词：PbZr Ti 一 O ；非晶薄膜；折射率；禁带宽度 j 中国分类号:TN383.1 文献标识码;A 中图分类号：TN383．1 文献标识码：A oPTICAL PRoPERTIES oF P