高折射率材料吸收特性对193nm.DOC

HYPERLINK E:\\linshifile\\/ \o 文档网 HYPERLINK E:\\linshifile\\/ \o 免费文档下载 文档网 文档网可免积分在线阅读和下载文档包括资格考试、应用文书等大量word文档免费下载 FORMTEXT 高折射率材料吸收特性对193+nm+HfO2SiO2Y2O3SiO2Al2O3SiO2多层膜反射特性的影响 MACROBUTTON DoFieldClick [搜索文档] HYPERLINK E:\\linshifile\\/ \o 文档网 文档下载 HYPERLINK E:\\linshifile\\/list/10 \o 高等教育 高等教育 HYPERLINK E:\\linshifile\\/list/31 \o 高中教育 高中教育 HYPERLINK E:\\linshifile\\/list/9 \o 初中教育 初中教育 HYPERLINK E:\\linshifile\\/list/8 \o 小学教育 小学教育 HYPERLINK E:\\linshifile\\/list/11 \o 外语考试 外语考试 HYPERLINK E:\\linshifile\\/list/2 \o 资格考试 资格考试 HYPERLINK E:\\linshifile\\/list/229 \o 工作范文 工作范文 HYPERLINK E:\\linshifile\\/list/71 \o 求职职场 求职职场 HYPERLINK E:\\linshifile\\/list/73 \o 党团工作 党团工作 HYPERLINK E:\\linshifile\\/list/203 \o 表格模板 表格模板 HYPERLINK E:\\linshifile\\/list/77 \o 总结汇报 总结汇报 HYPERLINK E:\\linshifile\\/list/64 \o 经管营销 经管营销 HYPERLINK E:\\linshifile\\/list/191 \o 思想汇报 思想汇报 您的位置： HYPERLINK E:\\linshifile\\/ \o 免费word文档下载 文档网 HYPERLINK E:\\linshifile\\/list.html \o 所有分类 所有分类 HYPERLINK E:\\linshifile\\/list/10 \o 高等教育 高等教育 HYPERLINK E:\\linshifile\\/list/108 \o 理学 理学 高折射率材料吸收特性对193+nm+HfO2SiO2Y2O3SiO2Al2O3SiO2多层膜反射特性的影响 高折射率材料吸收特性对193+nm+HfO2SiO2Y2O3SiO2Al2O3SiO2多层膜反射特性的影响 多层膜反射特性 第３ｌ卷第１２期２００４年１２月 中国激光 Ｖ０１．３ｌ，Ｎｏ．１２Ｄｅｃｅｍｂｅｒ。２００４ ＣＨＩＮＥＳＥＪＯＵＲＮＡＬＯＦＬＡＳＥＲＳ 文章编号：０２５８—７０２５（２００４）１２～１４６９一０４ 高折射率材料吸收特性对１９３ｎｍＨｆ０２／Ｓｉ０２，Ｙ２０３／Ｓｉ０２，Ａ１２０３／Ｓｉ０２多层膜反射特性的影响 袁景梅，汤兆胜，易 葵，邵建达，范正修 （中国科学院上海光学精密机械研究所光学薄膜技术与研究发展中心，上海２０１８００） 摘要由单层Ｈｆ０。，Ｓｉ０。，Ｙ：０。，Ａｌ：Ｏ。膜求出其折射率和消光系数色散曲线，据此计算出Ｈｆ０。／Ｓｉ０：，Ｙｚ０。／ ｓｉＯ。，Ａｌ：Ｏ。／ｓｊ０。的１９３ｎｍ多层膜反射膜曲线，并用电子束热蒸发的方法进行镀制。由分光光度计测量样品的透 射率和绝对反射率，求出了各种膜层的吸收曲线。结果发现Ｈｆｏｚ／ｓｉＯｚ，Ａ１：０。／Ｓｉｏｚ反射率实验结果与理论结果吻合得很好，而Ｙ。０。／ｓｉ０。的理论曲线偏高。通过模拟Ｙ。Ｏ。／ｓｉ０。的反射率曲线发现Ｙｚ０。的消光系数远大于由单层膜实验得出的结果。这说明Ｙ。０。膜层的吸收特性与薄膜的制备工艺密切相关。关键词 薄膜；折射率；消光系数；吸收系数 ０４８４．４ 中图分类号文献标识码 Ａ ＥｆｆｅｃｔｏｆＡｂｓｏｒｐｔｉｏｎＣｈａｒａｃｔｅｒｔｏｔｈｅＲｅｆｌｅｃｔａｎｃｅｏｆ１９３ｎｍ Ｙ２０３／Ｓｉ０２ａｎｄＡ１２ Ｈｆ０２／Ｓｉ０２， ０３／Ｓｉ０２Ｍｕｌｔｉｌａｙｅｒ ＴｈｉｎＦｉｌｍｓ ＹＵＡＮＪｉｎｇ—ｍｅｉ，ＴＡＮＧＺｈａｏ—ｓｈｅｎｇ，ＹＩＫｕｉ，ＳＨＡＯＪｉａｎ—ｄａ，ＦＡＮＺｈｅｎｇ—ｘｉｕ （ＲＰ５Ｐｎｒｃ＾ｎ他ｄ ＤＰｕｇｆｏ户ｍ已竹￡ＣＰ札￡ｅｒ，ｂｒＯ户ｆｉｃｎ￡Ｔ＾ｉ竹Ｆｉ￡，ｎＣｏｎ≠ｉ扎ｇｓ，Ｓ＾口，２９＾ⅡｉＩ扎ｓ￡ｉ￡“￡Ｐｏ， ｏｐ￡ｉｃｓｎ超