超纯氩氦净化技术-气体分离设备.PDF

第27卷第3期 低 温 与特 气 Vo1．27，No．3 2OO9年6月 LowTelmpBI砒uIeandSpecialtyCases Jun ，2OO9 · 综述评论 · 超纯氩(氦)净化技术 孙福楠，吴江红，于大秋，李英辉，柳 尉 (光明化工研究设计院，辽宁 大连 甘井子 甘北路34号 116031) 摘要：介绍了超高纯氩气的提纯方法。通过采用联合的单元操作，可以生产99．9999％纯度的超纯氩气，同时大大 减少了贵重吸气剂的消耗。 关键词：超纯氩；脱氧；吸附；干燥；吸气剂；低温净化；分子筛；Zr-A1；ZrV·-Fe 中图分类号：TQI17 文献标识码：A 文章编号：1007-7804(2009)03—0001—05 doi：10．3969／j．issn．1007-7804．2009．03．001 Purification TechniquesForProducti0nOf Ultra-PurityArgon(Helium) SUNFu—nan，WUJiang—hong，YU Da-qiu，LIYing—hui，LIUWei (GuangmlngResearch＆DesignInstituteofChemicalIndustry，Dalian116031，China) Abstract：Thepurificationtechniquesforproductionofultrahiighpurityargon0．reinvestigated．Byusingthecombinedunit operation ，hteultra—purityargoncanbeproduced ，athtesametime ，comsumptionoftheexpensivege~ercaIlbereduced greatly． KeyWords：ultra—p·urityargon；deoxidafion；adsorption；drying；getter；cryogenicpurification；molecularsieve；Zr-AI；Zr-V--Fe 通常认为纯度I99．9999％ 的氩为超纯氩。在 化充装过程中污染很难有效控制，所以在实际操作 微电子、直读光谱仪、电光源、特殊焊接等领域， 中很少采用此工艺。针对Ar中存在的杂质，通常 一 般意义的国标优质高纯氩，其纯度是无法满足需 采用如下几种净化方法。 要的，正如有关资料所介绍的：灯泡 “跳丝”，产 生 “黑沟”；谱线强度不足。关于氩气净化技术的 1 低温吸附法 研究，国外许多国家都开展了此项工作，其中意大 利赛斯公司的GETIER吸气剂在国际上处于绝对 这种工艺早在2o世纪70—8o年代被普遍使用。 的领先水平。目前用户基本上都采用高压气瓶盛装 采用低温吸附法净化氩气，在原料杂质含量≤1％的 超纯氩，这意味要获得超纯级的氩气，必须要解决 条件下，净化后的 纯度可以达到99．999％ 以上。 钢瓶的污染问题。高纯氩气的提纯不但解决了6N 目前，我国的 纯度大于99．99％，以此为原料生产 氩气产品的生产问题，同时对解决氩气现场使用的 99．9999％ 的 ，应不成问题。该工艺原理类似于低 终端净化问题，也具有十分重要的意义。 温吸附法生产超纯氢，但问题复杂在低温的选择，因 原料氩中的杂质基本是：N、0：、CO、C