精密测量理论与技术基础 孙长库 胡晓东第10章 力和压力的测量.pptVIP

* 是U型管压力计的一种，在工业中常用 * 技术核心在于：P1端连接被测压力，P2端是读数端，因为A2A1，所以，P1端液面的微小变化就会引起P2端液柱高度的显著变化。所以，可以用来测量微小压力。 * 基于力敏原理和基于压力位移转换原理 与前面测加速度的传感器的不同在于：此处吊着质量块的结构是“硅膜”，而测量加速度的时候用“硅梁”，因为测压力利用的是硅膜形成的空腔内外的压力差而产生变形。这两种传感器的剖面图看着是一样的。 应变式：成本低、线性度0.1%、重复性0.05。 压阻式：重量小、频带宽、用于微压~高压、 粘贴型和扩散型，是主流产品 * * 变化深度约为25微米；动态响应好；反映时间快，可达100毫秒；受动载荷作用时膜片由于气体的气垫作用刚性将有所增加；所需输入能量低，容易获得较高灵敏度 * 差动形式的电容传感器； 输出电容可以与电感构成谐振式频率电路，或者对电容进行冲放电的各种脉冲电路。 * 差动形式的电容传感器； 输出电容可以与电感构成谐振式频率电路，或者对电容进行冲放电的各种脉冲电路。 * 差动形式的电容传感器； 输出电容可以与电感构成谐振式频率电路，或者对电容进行冲放电的各种脉冲电路。 * * 工作原理：弹性元件受压变形后所产生的位移与被测压力呈一定函数关系 * 尽量利用线性段 * 就是弹簧管 * 测量超高压，首先要求传感器本身能够耐高压。 * * * * * 常用的真空测量装置 液柱式真空计：测粗、低、高真空的绝对真空计。结构简单、精度高。 压缩式/麦克劳(Maclaod)/麦氏真空计 玻意尔—马略特定理 常用的真空测量装置 弹性变形式真空计利用弹性元件在压差作用下产生弹性变形的原理制成的。 弹性式真空表 电容式薄膜真空计 常用的真空测量装置 热导式真空计是根据在低压强下气体热导率与其压力之间的关系制成的一种测量低真空的相对真空计。 （1）电阻真空计 （2）热电偶式真空计 常用的真空测量装置 电离真空计是通过在稀薄气体中引起电离然后利用离子电流测量压力。 热阴极 电离真空计 超高真空计和极高真空计 10-5Pa 10-9Pa 热阴极 电离真空计 AB式 电离真空计 真空计性能指标 压力测量—小结 压力测量方法： 液柱式测压法 弹性变形测压法 负荷（力平衡式）测压法 电气式测压法：应变、压阻、电容 真空的测量： 液柱式真空计，热导式真空计，电离真空计，弹性变形式真空计 * 力：物质之间的相互作用，包括：万有引力、电磁力、强相互作用力和弱相互作用力。 我们要测的是工程中的，使机械元件发生变形或改变运动状态的机械力。它能是由万有引力产生的，也可能是由电磁力产生的，或者其他的产生的。 力值的计量单位:“牛顿”，用“ N ”表示。它是由力的‘动力效应’引出的。是我国法定的计量单位。 力的动力效应(Dynamic Effect)：力可以改变物体的运动状态，或改变物体所具有的动量，使物体产生加速度。 力的静力效应(Static Effect) ：力可以使物体产生变形，在材料中产生应力。 重力：物体在地球引力场中受到的力，G=Mg，g=9.8m/s2。称重常常是对质量的测量。 力矩会使机械零件转动，也称为转矩。 在转矩的作用下，机械零件会发生一定程度的扭曲变形，故又称为扭转矩。 单位：牛顿米 * 力的动力效应(Dynamic Effect)：力可以改变物体的运动状态，或改变物体所具有的动量，使物体产生加速度。 力的静力效应(Static Effect) ：力可以使物体产生变形，在材料中产生应力。 动力效应测力(Dynamic Effect)：在重力场中，用已知质量的物体在重力场某处的重力来体现力值。如基准测力机。 静力效应测力(Static Effect)：如压电效应(Piezoelectric Effect)、压磁效应(Piezomagnetic Effect)等。 * 由于F=ma的关系，力的测量与加速度的测量在传感器的原理上有很大的相似，但由于应用的场合大大不同，所以具体传感器形式还是相差很多的。 * 结构简单、制造方便、精度高、应用广泛； 测量范围：5N~20MN；测量准确度：0.03%~2% * 泊松比:材料在单向受拉或受压时，横向正应变与轴向正应变的绝对值的比值。 * 5MN/9.8=510204千克 * (1)应变式测力仪一般采用电桥电路。电桥电路的输出信号小，精度要求高，因而测量电路要求具有高的增益、高的输入阻抗 (2)传感器测量电路的集成模块称作信号调理器，这种集成块一般包括缓冲、放大、滤波，甚至还包含电压－频率转换，输出为数字量 (3)为提高测力传感器的精度，必须在电桥电路中采取相应的补偿措施，消