面向芯片封装的机器视觉精密定位系统的研究-机械工程;机械制造及其自动化专业毕业论文.docx

民 ii酬喇喇IIII I f 1014722 ‘b 叫本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作和取得的 叫 研究成果，除了文中特别加以标注和致谢之处外，论文中不包含其他人已经发表 戚撰写过的研究成果，也不包含为获得天津大学或其他教育机构的学位或证 书而使用过的材料。与我一间工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中 作了明确的说明并表示了谢意。 VveJE V veJ E 学位论文作者签名:二街兰 签字日期: ν / f! 年冬月立日 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解天津大学 有关保留、使用学位论文的规定。 特授权天津大学可以将学位论文的全部成部分内容编入有关数据库进行检 索，并采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编以供资阅和借阅。同意学校 向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘。 (保密的学位论文在解密后适用本授权说明) 学位论文作者签名: 才艺 导师签名: \ 签字日期: 2-D/d 年多月 2 日 签字日期 :μ/0 年 3 月 2 日 ， 飞、L ‘ vl 中文摘要 飞 l 乱 也 随着引线键合技术向着细密化、高精度的方向发展，视觉系统已经成为影响 IC 封被精度的意要因素之一。本论文以面向芯片封装的视觉系统作为研究对象， 根据芯片封装设备对视觉系统的要求搭建视觉系统架构，并对系统标定方法、视 觉定位算法以及视觉系统与控制系统的集成等进行了全面的研究，取得的创造性 成果如下z 1)针对芯片封装对视觉系统成像质量、放大倍事和工作物距要求，对光学 系统进行了设计，其具有两级放大结构和特殊的照明方式。分别采用两种镜头对 视觉系统进行了构建，并通过实验验证了视觉系统的成像效果，实验表明两套视 觉系统均获得满意的拍摄效果。 2) 提出了一种用于平行成像系统的基于几何矩的近平行系统摄像机标定方 法。该算法解决了年行成像系统的摄像机栋定问题，使其通过获取单阳模板图像 即可有效地求解全部摄像机参数。仿真和实验结果表明标定后得到的摄像机参数 结果准确稳定，且精度较高。 3) 提出了使用带有网格的分划板对显微视觉系统进行标定的方法。实验表 明，针对显微视觉系统的标定方法稳定有效，能够很好地适用于此前难于解决的 显微视觉系统的标定问题。 的针对芯片封装时使用的芯片及其图像的特点，分别提出了适合芯片和引 线框架的定位算法。对于芯片焊点，采用快速傅里叶变换算法进行匹配定位;对 于芯片的引钱框架，采用基于轮廓提取的不变矩方法进行匹配定位。经过实验验 证，这两种方法的定位精度能够满足芯片封装的要求。在 Labview 中对匹配定位 进行了编程，并实现了在 Labview 中对芯片和引线框架的视觉定位。 5) 给出了视觉坐标系与运动坐标系间的坐标变换关系、误缝补偿模型以及 视觉反馈框阁。搭建了视觉与运动控制集成后的实验系统，进行了系统标定，并 通过实验建立了误差补偿模型。在此基础上，视觉系统即可与控制系统进行准确 的坐标转换，从而通过视觉定位算法获得的芯片位置误差从视觉坐标转换到运动 坐标系，实现精确的定位。 关键词:芯片封装机器视觉摄像机标定视觉定位精密定位视觉反馈 ‘ b ‘. ABSTRACT Wi由the requirements of high accuracy and high speed in wire bonding，machine vision positioning system has become one of important factors which influence the quality of IC packaging. In this case，it can be used as a feedback of control system to achieve accurate positioning of chips. A positioning system using machine vision technologies has been designed and implemented in this dissertation ωobtain 飞 accurate positioning. The calibration method and visual localization algorithm are researched ，and the integration of vision and motion is studied.ηle main works and W contributions in this dissertation are as follow: 1) In ter