反应溅射稳定控制系统设计论文.doc

PAGE 2 目录 中文摘要 2 英文摘要 3 TOC \o 1-3 \h \z \u 1 绪论 4 1.1 溅射镀膜原理 4 1.2 反应溅射镀膜原理 4 2 基于LabVIEW的反应溅射控制系统仿真 7 2.1 LabVIEW软件的使用 7 2.1.1 LabVIEW软件介绍 7 2.1.2 LabVIEW软件特点 7 2.1.3 LabVIEW的应用领域 8 2.1.4 在LabVIEW中模拟仿真控制 9 2.2 反应溅射稳定控制系统的建模 9 2.3 Bang-bang控制 10 2.3.1 Bang-bang控制的缺点 12 2.4 PID控制 12 2.4.1 PID参数的整定 14 2.4.2 PID控制仿真 15 2.5 Bang-bang+PID控制仿真 16 3 反应溅射控制系统故障诊断 h 18 3.1 故障诊断系统的建立 h 18 3.1.1 故障诊障样本 18 3.1.2 设备故障诊断的目的 18 3.2 故障严重性诊断系统整体分析 19 3.3 反应溅射故障程度诊断系统分析 19 3.3.1 故障诊断系统理论分析 19 3.3.2 利用层次分析法确定各个特征参数的权重系数 23 3.4 故障程度诊断系统实例分析 25 4 结论 28 致谢 29 参考文献 30 反应溅射稳定控制系统设计 摘　要: 鉴于在现代工业反应溅射镀膜生产中，出现的因反应气体流量的变化引起的迟滞效应，会影响到工业中镀膜的质量，镀膜形成的种类，镀膜的成本等等问题，运用LabVIEW软件对工业上镀膜生产过程中气体流量的变化进行仿真控制。以不达到发生迟滞效应的临界值为前提，将其控制在一个临界值之下一个稳定的范围内，从而保证溅射镀膜发生在一个安全的高效的气体流量范围之中。根据LabVIEW仿真模拟，通过气体流量数值的曲线可以观察到如何控制气体流量的输入，还可以观察到气体流量受控制时形成的曲线。此后进一步分析此系统在工业过程中可能出现的故障，考虑故障系统，定量地分析故障的程度，并分析了该方法判断故障程度的原理方法和步骤。 关键词: 反应溅射；迟滞效应；稳定性；故障诊断；仿真模拟 Design of reactive sputtering stable control system Abstract: In view of the modern industrial production of reactive sputtering, hysteresis occurs due to the change of the reactive gas flow which will affect the quality of the coating,the type of forming film, coating costs, etc in the industry. LabVIEW software is used to simulate the control process of the gas flow changing during industrial coating production.The gas flow is controlled in a stable range under the critical value when the gas flow does not reach the critical value and the hysteresis does not happen.Thus it ensures that the sputtering takes palce in a safe and efficient range of the gas flow. According to LabVIEW‘s simulation,how to control the enter of the gas flow and the curve formed by the control of the gas flow can be observed through curve of the gas flow value.After that,the possible failure of the system in industrial process is analyzed.Then the article considers the failed system,and quantitativly analyzes the degree of fault.The method is adopted to