蓝宝石晶体生长设备称重系统设计和研究-机械设计及理论专业论文.docxVIP

西安理工大 西安理工大学硕士学位论文 II II Abs Abstract I 西安理工大 西安理工大学硕士学位论文 目 目 录 II II with PID control and fuzzy control, obtained that using the fuzzy PID control algorithm has good effect on dynamic performance and steady precision of the system. Key words: sapphire crystal; weighing system; weighing sensors; ANSYS Workbench; fuzzy PID control 目 录 1 绪论 1 1.1 蓝宝石晶体介绍 1 1.2 蓝宝石晶体的应用 1 1.2.1 蓝宝石应用半导体照明领域 2 1.2.2 蓝宝石应用微电子领域 2 1.2.3 蓝宝石应用航空、军事领域 2 1.2.4 蓝宝石在其他领域 3 1.3 课题研究背景和意义 3 1.4 课题主要研究内容 4 2 蓝宝石晶体制备 5 2.1 几种典型蓝宝石晶体生长方法 5 2.1.1 提拉法 5 2.1.2 热交换法 5 2.1.3 温度梯度法 6 2.1.4 泡生法 7 2.2 蓝宝石晶体生长设备 8 2.2.1 炉体结构 8 2.2.2 加热、保温系统 9 2.2.3 真空系统 9 2.2.4 传动系统 10 2.2.5 冷却系统 10 2.2.6 控制系统 11 2.2.7 加热电源 11 2.2.8 称重系统 11 本章小结 12 3 称重系统设计 13 3.1 称重系统的工作原理 13 3.2 称重方案的选择 13 3.3 称重结构确定 14 3.4 称重系统主要部件设计及计算 15 3.4.1 滚珠丝杠副计算与选型 15 3.4.2 旋转电机计算与选型 17 3.4.3 提拉电机计算与选型 17 本章小结 19 4 传感器设计 21 I 西安理工大 西安理工大学硕士学位论文 1 1 绪论 II II PAGE PAGE 13 4.1 称重传感器的分类 21 4.2 应变片 21 4.2.1 电阻应变片选用原则22 4.2.2 电阻应变片工作原理23 4.2.3 交换电路 23 4.3 弹性体 24 4.3.1 弹性体选材 24 4.3.2 弹性体设计原则 25 4.3.3 结构设计 26 4.4 基于 ANSYS 的有限元分析 27 4.4.1ANSYS 建模分析过程 28 4.4.2 应变片粘贴方式分析30 4.4.4 传感器的布置方式34 本章小结 38 5 晶体生长模型研究39 5.1 晶体生长过程39 5.1.1 引晶阶段 40 5.1.2 放肩阶段 40 5.1.3 等径阶段 41 5.1.4 收尾阶段 42 5.2 生长率计算43 5.3 控制系统确定44 5.4 控制算法的研究 44 5.4.1PID 控制 44 5.4.2 模糊控制 45 5.4.3 模糊 PID 控制 46 5.5MATLAB 仿真 46 本章小结 50 6 总结与展望 51 6.1 总结 51 6.2 展望 51 致谢53 参考文献 55 攻读硕士期间发表的论文 57 1 绪论 1.1 蓝宝石晶体介绍 蓝宝石是最重要的人造宝石之一，俗称刚玉，是一种氧化铝(α-Al2O3)的单晶，它通常 有三个切面被应用：A-Plane，C-Plane及R-Plane【1-3】蓝宝石具有很好的透光性，使它常用 在光学元件、红外装置、镭射镜片材料及光罩材料上，其光学穿透带从近紫外光到中红外 线。蓝宝石的强度高、熔点高、化学惰性性能，使其被用于耐磨损器件、耐高温高压器件。 目前，高质量蓝宝石晶体对于科技的发展起着重大的现实意义【4,5】。蓝宝石晶体的各种性 质如表【6】。 表1-1 氧化铝(Al2O3)特性表 Tab. 1-1 Alumina (Al2O3) features 物 理 性 能 化学式 Al2O3 晶体结构 六方晶系、单晶 纯度 99.99% 杂质 Na，Si，Ca，Fe，Mg，Ti，Cu，Zn，Ni，Cr 密度 3.98 g/cm3 硬度 9mohs，1525-2000 knoop 熔点 2050 ℃ 沸点 3500 ℃ 机 械 性 能 拉伸强度 4×104~6