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高压纳秒脉冲下介质阻挡放电的仿真研究 第34卷第6期 2008年6月 高电压技术 HighVoltageEngineering Vo】.34No.6 June2008?1249? 高压纳秒脉冲下介质阻挡放电的仿真研究 龙凯华,邵涛,严 (1.中国科学院电工研究所,北京100190;2 萍,金其龙 中国科学院研究生院,北京100049) 摘要:为研究ns脉冲高电压条件下介质阻挡放电的特性,在实验测量正极性ns脉冲介质阻挡放电电压,放电电 流的基础上,根据脉冲介质阻挡放电等效电路对空气间隙上的气隙电压,放电电流及功率等参数进行了计算.计 算结果表明,气隙电压,电流均为双极性脉冲且放电瞬时功率呈现双峰,分析认为此双极性脉冲是由介质层累积电 荷所致;阻挡介质材料,厚度和施加电压频率不同,正极性ns脉冲介质阻挡放电结果也不同;施加电压类型对介质 阻挡放电影响很大,相比交流,单极性/*s脉冲和单极性亚/*s脉冲的介质阻挡放电,正极性ns脉冲介质阻挡放电的 放电电流大很多. 关键词:低温等离子体;ns脉冲;介质阻挡放电;仿真;双极性;累积电荷; 中图分类号:TM213文献标志码:A文章编号:1003—6520(2008)O6—1249—06 SimulationofDielectricBarrierDischargesUsingNanosecond HighVoltagePulses LONGKai—hua～,SHAOTao,YANPing,JINQi—long’ (1.InstituteofElectricalEngineering,ChineseAcademyofSciences,Beijing100190,China; 2.GraduateUniversityoftheChineseAcademyofSciences,Beijing100049,China) Abstract:Tostudythedielectricbarrierdischarges(DBD)usingpulsedhighvoltage,thevoltage,thedischarge current,andtheinstantaneouspowerontheairspacingarecalculatedaccordingtoanequivalentcircuit,basedon themeasuredvoltageandcurrentintheDBDexperimentsusingpositiveunipolarnanosecondpulses.Thecalculated resultsindicatethatboththevoltageandthecurrentoftheairgaphavebothpositiveandnegativepulses,andthe instantaneouspoweralsohastwopeaks,whichareattributedtOresidualchargesaccumulatedinthedielectriclayer. TheresultsoftheDBDusingpositiveunipolarnanosecondpulsesaredifferentasthematerialandthicknessofthe dielectricbarrier,thefrequencyofappliedvoltageisdifferent.ThetypeofappliedvoltagecouldinfluencetheDBD alot.ThedischargecurrentoftheDBDusingpositiveunipolarnanosecondpulsesismuchbiggerthanthatusing AC,unipolarmicrosecondandsubmicrosecondpulses. Keywords:nonthermalplasma;nanosecondpulse;dielectricbarrierdischarge;simulation;bipolar;accumulated charges’ 0引言 近年来,基于介质阻挡放电(DBD)原理来产生 低温等离子体备受国内外关注,而且对各种条件下 放电特性的研究也逐渐深入,DBD技术已广泛应用 于等离子体化学,紫外光源,环境工程,高功率气体 激光器等领域口.]. DBD的基本原理是在传统放电电极上覆盖绝 缘介质,使气体放电不至于向电弧放电发展,实现等 离子体电子温度和等离子体密度适中,从而保证其 实用性.目前DBD研究中最常用的电源都是工频 交流或者高频交流..,随着脉冲电源的发展,单极 基金资助项目:国家自然科学重点基金;国家自然 科学基金(50