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Introduction of Company’s Business Activities
Agu, 2013
Compare iG5 with iG4
Weight： 36ton
iG4
2950mm
Layout
Next Generation
Compare iG5 with iG4
Component
iG4
Ion Source
Analyzing
Magnet
Process Chamber
Platen
Profile Monitor
PFG
Transfer Chamber
VAC Robot
Load lock
Chamber
iG5
Next Generation
Compare iG5 with iG4
Performance
Next Generation
Compare ~Layout~
iG4
iG5
Competitor
Nissin Ion
Gen 4
装置比較
iG6/iG5 ion Source
iG6/iG5 Magnet
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