第九章-湿敏传感器.pptVIP

9.2 湿度传感器的特性参数 1，湿度量程 2，感湿特征量——相对湿度特性 曲线 3，灵敏度 4，湿度温度系数 5，响应时间 6，湿滞回线和湿滞回差 9.2 湿度传感器的特性参数 9.2 湿度传感器的特性参数 9.2 湿度传感器的特性参数 9.2 湿度传感器的特性参数 9.2 湿度传感器的特性参数 综上所述，可以得知一个理想化的湿度敏感器件所应具备的性能和参数。 （1） 使用寿命长，长期稳定性好。 （2） 灵敏度高，感湿特性曲线的线性度好。 （3） 使用范围宽，湿度温度系数小。 （4） 响应时间短。 （5） 湿滞回差小。 （6） 能在有害气体的恶劣环境中使用。 （7） 器件的一致性和互换性好，易于批量生 产，成本低廉。 （8） 器件感湿特征量应在易测范围以内。 9.3 湿度传感器的分类 动物毛发随湿度增加而伸长，这是毛发式湿度计的原理，根据这一原理选择两片随湿度膨胀特性不同的材料叠加，可制成双片式湿度传感器。这种原理还被应用于光纤式湿度传感器。根据微波在不同湿度的空气中衰减也不同，研制了微波湿度传感器；根据不同湿度的空气对红外的吸收不同可制成红外湿度传感器。此外，还有干湿球式湿度传感器、双压式湿度传感器等等 湿度传感器按信号转换方式可以分为电阻式、电容式、频率式等；按敏感材料的性质可分为电解质型、陶瓷式、有机高分子型、半导体型。 9.4 陶瓷式湿度传感器 电阻式湿度传感器 1，TiO2- SnO2系复合氧化物半导体陶瓷湿度传感器 2，TiO2系陶瓷湿敏组件 3，BaTiO3-SrTio3系多功能陶瓷材料湿度-温度传感器 4，MgCr2O4-TiO2（MCT）系湿敏元件 9.4 陶瓷式湿度传感器 9.4 陶瓷式湿度传感器 MgCr2O 4- TiO2半导体陶瓷的电阻率 式中ρ0为起始电阻率，B是与材料有关的常数，T为绝对温度。 9.4 陶瓷式湿度传感器 陶瓷电容式湿度传感器 多孔A12O3陶瓷电容式湿度传感器 钽电容湿敏元件 9.5 有机物及高分子聚合物湿度传感器 高分子电阻式湿度传感器 高分子结构效应型湿度传感器 9.5 有机物及高分子聚合物湿度传感器 9.5 有机物及高分子聚合物湿度传感器 高分子胀缩型结露传感器 在使用一定的树脂及导电性微粉的情况下，感湿膜的电阻变化规律表示为 9.5 有机物及高分子聚合物湿度传感器 9.5 有机物及高分子聚合物湿度传感器 高分子电容式湿度传感器 ?原理： 基于电极间的高分子感湿材料吸附环境中的水分子时介电常数变化制成高分子电容式湿度传感器，其电容量与环境中水蒸气相对压（p／p0）关系可由下式表示 9.5 有机物及高分子聚合物湿度传感器 感湿电容及其特性 9.5 有机物及高分子聚合物湿度传感器 9.5 有机物及高分子聚合物湿度传感器 Humirel相对湿度电容传感器 9.5 有机物及高分子聚合物湿度传感器 9.5 有机物及高分子聚合物湿度传感器 9.6 半导体结型和MOS型湿度传感器 湿敏二极管 9.6 半导体结型和MOS型湿度传感器 湿敏MOS场效应管 输出电压Vout与膜的电容Cs有如下关系： 9.6 半导体结型和MOS型湿度传感器 9.6 半导体结型和MOS型湿度传感器 9.7 固体电解质界限电流式高温湿度传感器 固体电解质界限电流式湿度传感器的结构与工作原理 9.7 固体电解质界限电流式高温湿度传感器 9.7 固体电解质界限电流式高温湿度传感器 固体电解质界限电流式湿度传感器的特性 9.8 溶性电解质湿度传感器 登莫（Dunmore）式 9.8 溶性电解质湿度传感器 浸渍式 9.8 溶性电解质湿度传感器 光硬化树脂电解质湿敏元件 图 9?30 随相对湿度变化的电流-电压特性 图 9?31 水蒸气分压与△I的关系 图 9?32 登莫式传感器结构 图 9?33 登莫式传感器电阻-湿度特性 图 9?34 玻璃带上浸LiCl的湿度传感器 的结构 图 9?35 玻璃带上浸LiCl的湿度传感器的感湿特性曲线 表 9?1 典型氯化锂湿敏元件主要技术特性 LOGO 第9章 湿敏传感器 9.1 9.2 9.3 第9章 湿敏传感器 湿度的基本概念念 湿度传感器的特性参数 9.4 湿度传感器的分类 陶瓷式湿度传感器 9.5 有机物及高分子聚合物湿度传感器 9.6 半导体结型和MOS型湿度传感器 9.7 固体电解质界限电流式高温湿度传感器 9.8 溶性电解质湿度传感器 9.1 湿度的基本概念 9.1.1 相对湿度和绝对湿度 空气的绝对湿度（Ps）表示单位体积内空气里所含水蒸气的质量。 通常把大气的绝对湿度跟当时气温下的饱和水汽