光学薄膜监控技术.pptVIP

宽光谱监控 宽光谱扫描，在很宽的波长范围内监视薄膜的特性，使控制既直观又精确 监控原理：实时测量膜系的光谱特性，并不断地比较实时测定的光谱曲线与理论要求的曲线。在不考虑误差的情况下，当两者完全一致时，就认为膜层达到理论设计厚度 宽光谱监控 宽光谱监控的波长、光学厚度、透过率的三维函数图 宽光谱监控 宽光谱监控的优点 可以直观方便地控制宽谱特性 宽谱补偿：前面膜层的误差，在一定程度上被后续膜层补偿和截断 实现非规整膜系的监控 镀制过程中对透、反射特性的曲线分析处理，可以计算出已镀膜层的折射率、吸收率、色散、厚度等参数 Filmonitor BS宽光谱监控系统 宽光谱监控原理图 Filmonitor BS宽光谱监控系统 系统特点 每秒输出三个数据值 有效监控波长范围从400nm到800nm，完全覆盖可见光范围 系统测量精度可以达到0.1% Filmonitor BS-硬件特点 光路 使用紫外增强石英光维接收光信号，传输损耗优于普通光纤，紫外波段的传导特性较好。光纤孔径角22°。 光源后添加一个球形反射镜，增加光源使用效率 加光阑限制杂散光进入 光源选用卤钨灯，特点是亮度高，稳定性好。采用风冷 光谱仪：2048像元线阵CCD，分辨率2-3nm。工作范围：1100-200nm。 Filmonitor BS-软件功能 膜系光谱特性计算 自动测定镀膜材料的折射率和色散 三种判停方式 ：目视法人工判停；特征点法自动判停；能量法自动判停 实时修正：分析当前膜层光谱曲线，计算膜层厚度，优化后续膜层 Filmonitor BS-折射率测定 折射率测定是光学镀膜的一个非常重要的工艺工作，材料的色散是受设备及镀制工艺影响的 无吸收曲线呈等幅震荡，有吸收时，呈震荡收敛形状 n=（Y*ng）1/2 薄膜厚度是薄膜最重要的参数之一，它影响着薄膜的各种性质及其应用。 薄膜淀积速率是制膜工艺中的一个重要参数，它直接影响薄膜的结构的特性。 重点：薄膜厚度的测量和监控。 监控基本概述 质量厚度定义为单位面积上的膜质量 光学薄膜的沉积监控技术是光学薄膜制备的关键技术之一 对薄膜的监控主要是对膜层厚度的监控 薄膜厚度有三种概念，即几何厚度、光学厚度和质量厚度。 光学厚度是物理厚度与膜层材料折射率的乘积，即nd； 几何厚度表示膜层的物理厚度； ★ 膜厚的分类 厚度：是指两个完全平整的平行平面之间的距离。 理想薄膜厚度：基片表面到薄膜表面之间的距离。 由于薄膜具有显微结构，要严格定义和精确测量薄膜厚度，实际上比较困难的。 薄膜厚度的定义是与测量方法和目的相关的。 衬底的平均表面 薄膜形状表面 质量等价表面 物性等价表面 形状厚度dT是接近与直观形式的厚度。 质量厚度dM反映了薄膜中质量的多少。 物性厚度dP实际使用较少。 目视法：目视观察薄膜干涉色的变化来控制介质膜的厚度。 基板镀膜后，入射光在薄膜的两个分界面分成两束反射光，这两束反射光是相干的，各个波长的反射光强度就不相等，带有不同的干涉色彩，不同的膜厚对于不同的颜色。 镀制单层的MgF2，对绿光减反射，反射光是紫红色。 ★目视法 ★ 光学方法 光吸收法 测量薄膜透射光强度。 式中， 为入射光强度， 透射光强度， 膜厚， 吸收系数， 薄膜与空气界面的反射率。 方法简单 适合于连续薄膜 光干涉法(光电极值法） 光学薄膜需要监控的是光学厚度，而不是几何厚度。 是光学厚度，可用波长表示。 当 、 、 确定后，反射率只与薄膜厚度有关； 薄膜厚度连续变化时，透射率或反射率出现周期性极值； 透过或反射光强度为薄膜厚度的函数。 例题：设计淀积2?m厚的SiO薄膜，已知SiO的折射率为2.0，监控片的折射率为1.5，单色光波长为1?m，假设薄膜吸收为零，如何监控？ 根据干涉原理： 监测到第8个最大值即可。 极值法 在基片上镀制单一层膜时，薄膜的透射光或反射光强度随着薄膜厚度的变化曲线呈余弦状。 极值法：监控淀积过程中出现极值点的次数来控制四分之一波长整数倍膜层厚度 极值法控制技巧 直接控制 ：全部膜层直接由被镀样品进行控制 第一，相邻膜层之间能自动进行膜厚误差的补偿； 第二，避免了因凝集特性变化所引起的误差。因而使窄带滤光片获得较高的波长定位精度。 过正控制：镀制过程中故意产生一个一致性的过正量，以减少判断厚度的随机误差（极值监控时常用的控制手段）。 极值法控制技巧 定值法控制 ：在干涉截止滤光片中有特殊应用。由于定值法的停点一般选择在远离极值点，所以其控制精度是非常高的。 若ΔT=1%，则高折射率层的膜厚相对精度P=1.35%，低