声表面波换能器激励的有限元仿真-声学技术.PDF

第 28 卷第 5 期 声 学 技 术 Vol.28, No.5 2009 年 10 月 Technical Acoustics Oct., 2009 声表面波换能器激励的有限元仿真 张永刚 (安徽理工大学电气与信息工程学院，安徽淮南 232001) 摘要：采用有限元法分析了声表面波换能器电极上的激励问题。从声场波动方程、麦克斯韦方程以及压电本构方程 出发，利用哈密顿原理，推导了在压电介质中声表面波有限元方程，然后采用Newmark 法对有限元方程进行时域变 换。分析了换能器电极上的静态电荷分布和动态电荷分布。对压电介质中声表面波振动振幅进行计算并分析了质点 振动振幅随深度的变化情况。 关键词：声表面波；有限元法；换能器；电荷分布 中图分类号：TN912 文献标识码：A 文章编号：1000-3630(2009)-05-0678-04 DOI 编码：10.3969/j.issn1000-3630.2009.05.024 FEM simulation of SAW transducer excitation ZHANG Yong-gang (School of Electrical and Information Engineering, Anhui University of Science and Technology , Huainan 232001, Anhui, China) Abstract: The relationship between surface acoustic wave (SAW) and voltage excitation is analyzed with the finite element method (FEM). Starting from the acoustic field wave equations, Maxwell equations and piezoelectric constitu- tive equations, the finite element equations for interdigital transducers are established with Hamilton principle, and then transformed into time-domain with Newmark method. The static charge distribution and the dynamic charge dis- tribution on electrodes are analyzed. The SAW vibration amplitude of the interdigital transducers is calculated and its variation with depth is also analyzed. Key words: surface acoustic wave(SAW); finite element method(FEM); transducers; charge distribution 传输特性来达到信号处理的目的[2,3] 。 1 引 言 对声表面波换能器的研究一般可分为两种类 型：一类是根据特定的近似模型求得相对简单的计 声表面波技术是上世纪 60 年代后期发展起来 算结果，这类方法的缺点是结果不够精确。另一类 的一门新兴技术。近年来，随着通信技术的发展， 是依据波动方程满足特定边界条件求