牺犻犉犻频段体声波滤波器的设计.PDF

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第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 , 29 10 Vol.29 No.10     年 月 , 2017 10 HIGH POWERLASERANDPARTICLEBEAMS Oct. 2017     犠犻犉犻频段体声波滤波器的设计 , 1 23 1 3 贾 乐 , 高 杨 , 韩 超 , 吕军光             ( 西南科技大学 信息工程学院,四川 绵阳 ; 中国工程物理研究院 电子工程研究所,四川 绵阳 ; 1. 621010 2. 621999 3.中国科学院 高能物理研究所 核探测与核电子学国家重点实验室,北京 100049) 摘 要: 为了保证移动设备在 WiFi频段正常工作且不受相邻频段的干扰,设计了一种用于 WiFi          频段( )的 滤波器。设计基于薄膜体声波谐振器( )的一维 等 IEEE802.11b 2402 2482MHz BAW FBAR Mason ~ 效电路模型构成初始结构的梯形滤波器。然后,将串联 FBAR的谐振区面积值以及串、并联 FBAR的谐振区 面积的比值设置为优化参数,以所需的滤波器的带内插损和带外抑制为优化目标,使用 ADS软件基于遗传和 梯度的优化算法对滤波器进行优化。在滤波器的设计过程中,为了使仿真结果更加精确,采用声电磁协同仿真 方法对滤波器进行仿真,并与 Mason等效电路模型仿真结果对比,结果表明,滤波器性能有所下降,带内插损 增大 1.6dB,带内纹波增大 1.1dB,带外抑制基本一致。所设计的WiFi频段的BAW滤波器具有低插入损耗  (小于 3dB)、高带外抑制(大于40dB)性能。 关键词: WiFi频段; 滤波器; 体声波; Mason模型; 声电磁协同仿真               中图分类号: 文献标志码: : / TN713.5 A 犱狅犻10.11884HPLPB201729.170141                  无线通信的发展迫切需要极其紧凑和高性能的射频前端,射频滤波器是射频前端的核心组成部分。在这 方面,体声波(BAW)滤波器有望取代传统的 RF滤波器技术———声表面波(SAW)滤波器和陶瓷滤波器。 滤波器的优点是:高工作频率(高达

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