多功能有源激光微调机的系统设计-激光与红外杂志.PDF

第４６卷　 第１２期　 　　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Ｖｏｌ．４６，Ｎｏ．１２ 　 ２０１６年１２月　　　 　 　　　　　　　　　　ＬＡＳＥＲ　＆　ＩＮＦＲＡＲＥＤ Ｄｅｃｅｍｂｅｒ，２０１６ 　　文章编号：１００１５０７８（２０１６）１２１４５９０４ ·激光应用技术 · 多功能有源激光微调机的系统设计 １ ２ １ １ 梁进智 ，徐长彬 ，封　芸 ，金越越 （１．北京奥依特科技有限责任公司，北京 １０００１５；２．华北光电技术研究所，北京 １０００１５） 摘　要：针对厚膜混合集成电路的功能微调需求，设计了一种多功能有源激光微调机。通过在 线测量不同的产品参数，可实现多功能激光微调，其中包括输出电压修调，保护电流修调和信 号电路调整（调测占空