在使用过程中的光散射测量表面粗糙度.docxVIP

在使用过程中的光散射UIF佩尔森测量表面粗糙度 电光实验室，信息技术部，瑞典中部大学 摘要： 本文介绍了适用它的仪器在加工过程中测量表面粗糙度。在这个过程中用到了磨削机。 在粗糙度0.09/m～0.016/m的表面进行第一次实验，在粗糙度0.30/m～0.34/m的表面进行第二次实验。该仪器是基于光散射和表面的粗糙度被分类在相同的顺序使用触笔仪器时。这里介绍的方法是普遍适用的，即更粗糙的表面可以自己测量的激光，如果适当波长和检测器那敏感的波长选择。 1引言 现代加工技术已增加了需要在加工过程中测量表面粗糙度。鉴于事实是进程运行无需人员的任何监督。自动系统相对表面的测量粗糙度是必需的。这样的系统的任务是提供一个信号时，工件的表面粗糙度已经减少到令人满意的水平。另一项任务是预示当加工刀具被磨损。 表面纹理的控制是工程行业的高度关注，该行业的粗糙度密切相关的表面的功能。在自动化生产强大的流程更复杂的表面粗糙度测量，简明地介绍了表面结构和表面粗糙度的表征和测量可以在达格纳尔的工作中找到。更详细介绍由托马斯·J·提出谁处理过的表面地形，手写笔仪器，光学仪器以及表面形貌和应用程序的特性。河畔花边计量由非同时处理在更一般的术语房子。 格雷森提交经修订的典范在转动中，实验预测表面粗糙度证据表明，短路方法论主办的结果 估计或比现有理论的解决方案更好的表面粗糙度。 常用的表面粗糙度参数弧, 被定义为： 被定义为： 其中，z（x）是从平均线的轮廓和出发L为取样长度R =最大峰 - 谷 L之内的高度。 手写笔工具，最常见于表面粗糙度 测量。并不适用于在加工过程中测量 表面粗糙度在振动是不可避免的，许多 光学方法有哪些??适用于表面粗糙 内斯测量：聚焦光散射。斑点 和干涉。 光散射的各种应用已经表明承诺在仪器的发展过程中的测量表面粗糙度。一个详尽介绍 光学技术用于在线测量表面形貌是由Vorburger和蒂格提供。镜面 反射率，总集成的散射，扩散度，角散射分布，去斑，椭偏仪和干涉 全部治疗。布罗德曼和图尔恩提出了一个 基于光散射和所使用的参数的仪器 粗糙度的分类被称为，是一个加权 杂散光分布的二次均值。结果 从上具有20nm的R 2表面测量 进行了介绍和表面被划分在同一 令，手写笔工具。之间的相关性的曲线 和取决于所使用的加工过程。不同 加工工艺得到不同的表面纹理。这 机械加工相关的质地产生不同的光散射， 散射图案。 Takeyama等人。我提出了适用的仪器 在过程检测中的加工表面粗糙度。一 卤素灯是光的光源和光纤引导 的光在表面上。该方法是基于光学反射 化和表面粗糙为= 40处测得显示 可喜的成果。这些表面可以进行分类 反射输出在正确的顺序。 Vorburger等。表面呈现粗糙的政权， 内斯可测量的光散射。表面性能，例如 作为功率谱密度，自相关函数，均方根 粗糙度和均方根斜率进行处理。估计 只要为0.3为可测量的光散射。 其中A是上述照明的波长。 作过程中的检测表面粗糙度的光学传感器，提出了由Lonardo和米凯莱蒂。这 传感器是基于椭圆偏振，即被测表面是 由偏振红外光束和偏振光照明 的反射波的椭圆是由表面的影响 粗糙度。在域1.15个表面进行测量 和测量信号和之间的相关性， 接近线性的。 在线和过程传感器是由三井介绍 。 Vorburger和蒂格和Young等。一个 工业应用过程中的测量，提出了由汉堡和Blaszczak。该仪器 通过汉堡和Blaszczak设计是基于光散射。 的表面被使用红外二极管和强度照明系统 的散射光40度的镜面方向是 用于粗糙度参数的计算的基础。 镜面反射方向是在其中登记角等于照射角度，即该方向, 图1地面表面的0.2/2.2/范围 进行测定，结果是有希望的：表面 被归类于相同的顺序用手写笔工具。 本研究的目的是调查的可能性 应用光散射相对表面粗糙度 在测量过程。 2。理论 从一个表面，它得到的散射图案 当用激光照射取决于等等因素 的表面粗糙度。从散射的改变 面作为表面变得更平滑，可以用来测量 表面粗糙度。如果粗糙表面被照亮 相干光的散射被漫：但是由于表面 加工散射会期间变得光滑 少漫射。这个改变从漫散射到 非漫散射可被用作在一个物理原理 表面粗糙度的测量。镜面反射率的测量已经由。等等。坦纳和 Fahoum Chinmayaaandam。和西尔文诺伊宁等。 ??镜面反射是由拉文彻底处理 。 图一，散射几何。图1是入射面S为 散射面。入射光束是沿斜边 入射平面1。和P位于上散射的斜边 平面S。 一个模型，给出了散射的普遍看法从 一个面作为照明和观察的角度的函数。 粗糙度，相关长度和光束宽度被开发