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行业标准项目建议书建议项目名称中文六氯乙硅烷组分含量的测定气相色谱法建议项目名称英文制定或修订制定修订被修订标准号采用程度采标号国际标准名称中文国际标准名称英文采用快速程序快速程序代码分类号中国标准分类号牵头单位洛阳中硅高科技有限公司体系编号参与单位新特能源股份有限公司亚洲硅业青海有限公司计划起止时间目的意义或必要性六氯乙硅烷英文名称简写是一种性能稳定挥发性低的湿度敏感型液体在多种高级薄膜积淀半导体存储和逻辑芯片制造技术工艺中发挥着至关重要的作用在低温工况下可替代硅烷或二氯甲硅烷应用于高品质氧化
行业标准项目建议书
建议项目名称
(中文)
六氯乙硅烷组分含量的测定 气相色谱法
建议项目名称
(英文)
Determination of the component of hexachloroethane—Gas chromatography
制定或修订
■ 制定
□ 修订
被修订标准号
采用程度
□ IDT
□MOD
□NEQ
采标号
国际标准名称
(中文)
国际标准名称
(英文)
采用快速程序
□FTP
快速程序代码
□B
□C
ICS分类号
77.040
中国标准分类号
H17
牵头单位
洛阳中硅高科技有限公司
体系编号
621
参与单位
新特能源股份有限公司、亚洲硅业(青海)有限公
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