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2019-07-02 发布于天津
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技术技术气气体体隐形材料半导体和显示屏工厂的现场大宗气体供应作者林德电子亚太区电子行业业务发展副总裁博士林德电子及特种气体市场开发负责人年年月月半半导导体体芯芯科科技技技术技术气气体体简介步建设并且需要在首个工艺生产设备进入工厂之前就通有一种材料它可以大量连续生产纯度达过质量认证并开始量产并且每天用量相当于头大象的重量在本文中我们将首先讨论半导体和显示屏工厂中常但我们又从来都看不见它就是工厂必需的用的大宗气体包括它们的应用来源和供应选择然后氮气我们将介绍供应所需的基础设施并概述建造此一气体供在半

技术技术 TT ECHNECHN OLOGYOLOGY 气气体体隐形材料：半导体和显示屏工厂的现场大宗气体供应作者：David Pilgrim, 林德电子亚太区电子行业业务发展副总裁 Paul Stockman博士, 林德电子及特种气体市场开发负责人 3030年 4/54/5月月半半导导体体芯芯科科技技技术技术气气体体 TT ECHNECHN OLOGYOLOGY 简介步建设，并且需要在首个工艺生产设备进入工厂之前就通有一种材料，它可以大量连续生产，纯度达过质量认证并开始量产。 99.9999999% ，并且每天用量相当于500 头大象的重量，在本文中，我们将首先讨论半导体和显示屏工厂中常但我们又从来都看不见。它就是3D NAND 工厂必需的用的大宗气体，包括它们的应用、来源和供应选择。然后，氮气。我们将介绍供应所需的基础设施，并概述建造此一气体供在半导体和显示屏的每个制造工艺步骤和设备中，氮应关键设施的项目步骤。气都是必不可少的大宗气体之一。从分类来说，它们通常是消耗量仅次于硅晶圆的大宗材料。它们无法被肉眼所见，大宗气体、应用和供应选择 “存在感”薄弱，但在整个工厂中却无处不在。大宗气体大宗气体，例如氮气，氧气……是半导体和显示屏制供应设施与每个晶圆厂的主体厂房相邻，且与主体厂房同造业中分子构造最简单的材料。它们在整个工厂中以管道半半导导体体芯芯科科技技年 4/54/5月月 3131 技术 T ECHN OLOGY 气体氮气氧气氩气氢气氦气二氧化碳大宗特种气体： (N ) (O ) (Ar) (H ) (He) (CO ) 氨气 (NH₃) 2 2 2 2 氯化氢 (HCl) (N ) 2 三氟化氮 (NF₃) 一氧化二氮，又名笑气（N₂O）硅烷 (SiH₄) 主要应用惰化和吹扫