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第三章 先进制造工艺技术 第一节 精密与超精密加工技术 一、? 精密与超精密加工技术概述 1、精密加工与超精密加工定义 精密加工是指加工精度在0.1～lμm之间，表面粗糙度Ra在0.lμm以下（称微米加工） 超精密加工的加工精度在0.lμm以下，表面粗糙度在0.02μm以下（称为亚微米加工） 2、精密加工与超精密加工的特点 “蜕化”和“进化”加工原则 微量切除（极薄切削） 形成综合制造工艺系统 与自动化联系十分紧密 特种加工方法和复合加工方法的出现 加工检测一体化 3、精密与超精密加工的应用与进展 超精密加工研究范畴：（关键技术） 超精密加工方法 超精密加工刀具 超精密加工设备 超精密加工环境 超精密加工精度的在线检测及计量测试 3、精密与超精密加工的应用与进展 美国是研究最早的国家，处于世界领先地位，以民品应用为主要对象 英国的克兰菲尔德精密工程研究所有较高声誉 日本起步较晚，发展最快，以发展国防尖端技术为主要目标。 我国在70年代末期有长足进步，80年代中期出现了具有世界水平的超精密机床和部件 二、?超精密加工方法 1、去除加工（分离加工） 从工件上去除一部分材料。 超精密切削加工形面示例 （图为各种镜面切削加工的形面） 2、结合加工 利用物理和化学方法，将不同材料结合在一起。按结合的机理、方法、强弱等，分为附着、注入和连接三种。 3、变形加工（流动加工） 利用力、热、分子运动等手段，使工件产生变形，改变其尺寸、形状和性能。 三、超精密加工刀具 刀具要求：能均匀去除不大于工件加工精度，且厚度极薄的金属层或非金属层 刀具种类：金刚石刀具； 超精密磨削砂轮 金刚石刀具 1、金刚石刀头的特性： 颜色：有红色和绿色等多种颜色，其硬度随颜色而不同； 硬度：显微硬度值比其他物质高许多； 热传导率：在矿物中最大。 金刚石刀具 2、金刚石刀头的制造： 成形：采用研磨加工方法； 研磨方法：用空气轴承的研磨机； 特殊刀头的形状 超精密磨削砂轮 超精密磨削质量控制方面的首要因素： 砂轮磨料：应与工件材料选配适当； 磨料粒度：具备形成微刃的粒度； 砂轮硬度：硬度中软。 四、超精密加工设备 超精密加工机床主要功能部件： 主轴及其驱动装置 导轨及进给驱动装置 微量进给装置 典型液体静压轴承主轴结构原理图 1—径向轴承 2—推力轴承 3—真空吸盘 双半球空气静压轴承主轴 1—前轴承 2—供气孔 3—后轴承 4—定位环 5—旋转变压器6—无刷电动机 7—外壳 8—多孔石墨 超精密主轴结构 静压导轨 平面型空气静压导轨 1—静压空气 2—移动工作台 3—底座 微量进给装置一 双T形弹性变形式进给装置原理图 微量进给装置二 压电陶瓷式微进给装置 1—刀夹 2—机座 3—压电陶瓷 4—后垫块 5—电感测头 6—弹性支承