自动点胶系统简易安装说明.doc

PAGE 2 www.SmartC Page PAGE 1 of NUMPAGES 1 Smart Coaters – Best Spin Coaters for Your Thin Film Spin Coating Application 自动点胶系统简易安装说明 ④③②① ④ ③ ② ① ⑥⑤ ⑥ ⑤ ⑦ ⑦ 　　　①中心点胶口（鲁尔接头）　　　　②蠕动泵自动点胶机 　　　③蠕动泵泵头　　　　　　　　　　④点胶管（液体传输管） 　　　⑤点胶端口（通讯口）　　　　　　⑥点胶控制线（通讯线） 　　　⑦点胶端口设置 首先将蠕动泵底部两颗临时固定螺丝拧除，方可使用蠕动泵。 安装好蠕动泵软管④，一端插入点胶容器瓶内，经过蠕动泵泵头③，一端连接到匀胶机盖子上的点胶接头①上。（蠕动泵的软管安装详见说明书） 连接蠕动泵与匀胶机通讯线⑥，一端插在蠕动泵通讯端口，另一端插在匀胶机的点胶端口⑤上（四个端口任选其一）。同时连接好匀胶机、真空泵、蠕动泵电源线，真空泵与匀胶机的真空管路亦需连接好。 打开蠕动泵和匀胶机、真空泵电源，在匀胶机程序设置点胶步骤⑦中选择通讯线连接的点胶端口号（插入的端口号为多少则在程序中选择多少号端口）并设置正确的匀胶程序。 将基片放置在载物盘上，准备好匀胶机，试运行自动点胶程序进行测试（通常蠕动泵内部已默认正确设置），蠕动泵动作步骤时看是否有液体从容器瓶内吸入由点胶管进入匀胶机内腔。如没有，请确认蠕动泵的模式选择为“Foot Ctr”－－脚踏开关模式，并保证液体流向正确（通过操控面板上方向变换按钮进行变换）。 通过调节蠕动泵的流速（详见蠕动泵说明书）和匀胶机设置的点胶时间来控制每次的点胶量，进行自动点胶运行。