MOCVD装备技术及产业发展分析.docVIP

PAGE PAGE 1 MOCVD装备技术及产业发展分析 　　摘要：MOCVD（金属有机化合物气相沉积）设备是LED产业的核心关键设备，技术长期被国外企业垄断。近期，我国在MOCVD装备领域取得了可喜的突破，涌现出了多家各具技术特色和优势的MOCVD装备研发企业，目前已有企业的自主装备产品成功下线交付客户。但目前国产MOCVD装备产业化仍面临着较为严重的瓶颈障碍，亟待有效的政策破解。 　　关键词：MOCVD；LED；高端装备；技术创新；产业发展 　　中图分类号：TN304文献标识码：A文章编号：1009-2374（2013）03-0001-03 　　MOCVD（金属有机化合物气相沉积）设备是LED芯片外延生长的核心设备，是知识、技术高度密集，具有高附加值和强大产业链拉动效应的高端装备产品。过去20年来，我国所有装机生产的MOCVD设备全部依赖进口。随着“国家半导体照明工程”于2003年正式实施，MOCVD设备国产化已被列入国家层面的技术创新重点支持方向。在MOCVD装备技术及产业领域取得突破，将使我国LED产业能形成完整的自主产业链，新产品、新工艺的开发不再受进口设备限制，具有重要的战略意义。 　　1MOCVD装备的市场前景 　　从2009年起，在LED背光源显示、照明等巨大市场的推动下，全球LED芯片生产高速增长，生产规模迅速扩大。2011年第二季度以来，由于产业发展周期因素（背光市场需求已充分释放），LED产业进入了产品结构调整阶段，芯片产能数量增长幅度有所放缓，趋于合理，而在技术水平、产品品质等方面的竞争更为激烈。据McKinsey公司预测，目前LED产业在通用照明领域已经走上了快速增长的轨道，2020年之前LED光源将占据全球照明市场主导地位。随着LED在通用照明领域获得大规模应用，将持续带动LED芯片需求的快速增长。 　　LED产业近年来的迅猛发展导致作为产业核心设备的MOCVD装备需求量从2010年到2011年上半年呈井喷式增长。2010、2011两年，我国MOCVD新增装机量连续超过200台。2011年下半年，随着全球LED产业整体进入调整期和前期设备产能的逐渐形成，MOCVD装备市场增长幅度放缓。2012年我国MOCVD新增装机总量约100台，较2011年大幅回落。预期随着LED产业的进一步发展和MOCVD技术的进一步成熟，MOCVD装备市场在未来5～10年还将会迎来2～3次显著增长的窗口期，最近的窗口期可能在2014年下半年到来。 　　2MOCVD装备产业国际国内竞争态势 　　2.1MOCVD装备产业国际竞争情况 　　MOCVD装备产业当前在全球范围内仍是一个新兴的产业，面对近年来需求的迅猛增长，技术和产业都尚未充分成熟。2005年之前，由于LED产业总体规模较小，设备更新较慢，进入的设备厂家不多，全球MOCVD设备主要制造商仅有德国的Aixtron、美国的Veeco、日本的大阳日酸株式会社三家企业。由于日本禁止出口的政策，该领域的国际市场几乎被Aixtron与Veeco两家企业完全垄断。随着2006年后全球LED产业的迅速升温，MOCVD装备需求量迅猛增长，三家企业的产值大幅提升，技术升级步伐也大大加快。然而时至今日，国际主流MOCVD装备产品仍未能完全适应LED产业大规模、自动化、高质量、低成本生产的需求，在LED芯片生产中普遍存在着装备与工艺脱节的问题，MOCVD装备制造厂商对于下游LED芯片厂家实际生产中面临的诸多问题仍然缺少有效解决方案。近年来Aixtron与Veeco等企业开始积极实施专利战略，试图阻止后进入的厂商竞争，但因LED产业技术变革迅速，很难形成实质性的专利壁垒。 　　总体而言，目前国际MOCVD设备技术、市场仍处于有效竞争阶段，领先者的优势显著但不稳固，后发者正面临着通过技术创新实现赶超的关键机遇。 　　2.2MOCVD装备国内布局发展情况 　　在国家政策与市场需求的双重引领下，我国多个地区都积极参与MOCVD装备研发竞争，近年来已在技术和产业方面取得了积极的进展。目前我国MOCVD装备领域已初步形成了以上海、北京、山东、广东四地区为主的竞争局面。其中上海虽然起步时间相对较晚，但在企业的努力和政府的支持下后来居上，2012年底，三家企业几乎同步完成了国产大型MOCVD设备的技术研发及产业化，在全国取得了较大幅度的领先优势。 　　为了在全国范围的行业竞争和整合浪潮中占据先机，各地方政府也及时出台政策措施，加大力度促进本地MOCVD装备的研发和产业化进程。如广东省政府与中科院、地方院所和产业联盟共同组建了广东半导体照明产业技术研究院和广东省中科宏微半导体设备有限公司，以重大专项形式推动MOCVD装备核心技术攻关，并构建MOCVD产业化基地等。 　　3国产MOCVD装备产业化面临的机