课件2传感器静态和动态特性.ppt

2007 2.2微传感器的标定 微传感器性能参数的具体数值是通过实验确定的.对微传感器进行实验,并通过对实验数据进行处理,得到微传感器的数学模型以及性能指标,是微传感器标定的主要内容. 2.2.1微传感器标定的基本概念 所谓微传感器的标定,就是利用已知的输入量输入微传感器,测量微传感器相应的输出量,并进而得到微传感器输入输出特性的过程. 微传感器的标定实际上是针对整个微传感器系统的实验.微传感器的标定一般包括如下内容: (1)确定一个表达微传感器输入输出信号间关系的数学模型. (2)设计一个标定实验,对微传感器施加输入,测量相应的输出,需要特别注意的是:控制标定 中可能引入其他信号的影响. (3)利用回归分析方法对标定实验得到的数据进行处理,确定步骤1中数学模型的参数及测量误差. (4)对模型进行分析,确定其是否合适.如否,则需要对其加以修正或考虑新的数学模型. 2007 根据参考基准不同，标定基本可分为两种形式：一种是以具体技术标准作为参考，称为绝对式标定；另一种是以某已标定的传感器作为参考，称为比较式标定。具体的标定工作与微传感器的原理、结构形式、相应行业标准、实际应用需求等多方面的因素有关，彼此之间差异很大。在实际操作时，需要考虑的共性问题主要有： （1）微传感器系统每个模块的标准特性参数； （2）标定系统的可操作性； （3）标定系统的成本； （4）标定工艺的人工成本； （5）标定数据的整理及微传感器系统软硬件调整方案。 根据所需要得到的微传感器技术参数的不同，微传感器的标定可分为静态标定与动态标定两种方式。静态标定是评定微传感器指标的基本方式，微传感器的大部分技术参数都是通过静态标定取得的。动态标定一般用于对微传感器的动态响应特性有要求的场合。 2007 2.2.2精度、精密度、误差、不确定度 在微传感器的标定中，精度、精密度、误差、不确定度是经常用到的概念。 1.精度 所谓精度，或称为精确度（ accuracy），是指对被测量进行测量所得到的某一测量值与该被测量真值的符合程度。 2.精密度 精密度（precision）是指测量的重复程度。即对某一稳定的被测量，由同一测量者，在相同条件下，连续重复测量多次得到测量结果的分散程度。精密度不需要知道被测量的真值。 3.误差 误差是指测量值与真值或可接受值之间的符合程度。 4.不确定度 不确定度是指对应于某一测量值的一个区间，任何重复性的测量结果将出现在这一区间。这一不确定度区间是通过实验者对实验结果进行不确定度估计而得到的。 与误差不同，不确定度对于测量非常重要。将测量值与不确定度结合在一起，可以得到完全确定的结论。 在利用不确定度表达测量结果时，应该尽可能将不确定度的区间缩小。将不确定度的区间缩小所带来的风险就是有些测量值可能会落到区间之外。 因此采用不确定度表达测量结果时，往往还要加上置信概率的概念，即测量值落在该区间的可能程度。例如，若大部分测量结果符合正态分布，则可采用标准差的倍数来表示不确定度。我国的国家计量技术规范推荐了3种置信概率供不同的部分来选用。同时规定，当置信概率取68%或99%时必须注明置信概率，而取95%时则不必注明。这一规定表明，只有在某些特殊用途时才选用不同于95%的置信概率。 2007 2.3微传感器信号的数据获取 测量系统对外界信息的获取是通过传感器实现的。微传感器信号的数据获取，即将微传感器输出的原始信号转换为可处理、可分析的数据流，是测量系统的重要功能组成。 2.3.1微传感器的信号调理 微传感器所产生的电信号一般非常弱，必须经过放大处理后才能传输到数据获取(DAQ)模块进行进一步处理。有些微传感器的输出信号虽然强，但许多DAQ部件的输入范围固定（如±10V，0~5V等），与微传感器的输出范围往往不符，必须对微传感器的输出范围进行调整。此外，微传感器信号中的无用噪声必须尽可能过滤掉或最小化以得到“干净”的信号。所谓信号调理，即对微传感器的输出信号进行“再加工”，使其更适合于后续的信号传输与处理。 2007 信号调理与检测电路之间的界限并不一定很清楚,有时还会合二为一.因此,有些文献中也将电阻抗-电压转换电路，如电阻、电感、电容等的检测电路归为信号调理电路。随着微细加工工艺的发展,将微传感器与检测电路乃至信号调理电路共同制作在同一块芯片上已经不是很难的事情.尽管如此，由于微电子电路的加工工艺与微传感器敏感器件的加工工艺之间的兼容性还是一个比较突出的问题，因此信号调理在微传感器及采用微传感器的测量系统设计中还是一个相对独立的模块。 2007 一般来说