硅谐振式磁传感器简介.ppt

【磁阻元件和传感器】 4.2磁阻式传感器应用举例 1.磁阻式无触点开关。 当磁阻元件接近永久磁铁时，会使元件的阻值增大， 由于磁阻元件的输出信号大，故无需再将信号放大 便可直接驱动功率三极管，实现无触点开关的功能。 2.转速传感器。 在被测转速的轴上装一个齿轮状的磁导体，对着齿轮固定一永久磁铁，差动磁阻元件粘贴在永久磁铁上面，当被测轴旋转时带动齿轮状磁导体一起转动，于是差动磁阻元件便可检测出齿轮的凹凸所产生的磁场变化。从而便可可测出通过磁阻元件的齿轮凹凸数，求出一定时间内所通过的齿轮凹凸的数目，便可知道被测轴的转速。 由于使用差动式磁阻元件，利用其电压分压比的方法，还可测出轴的旋转方向，也能测定齿轮的位置。 声表面波传感器 5.硅谐振式磁传感器简介 【硅谐振式磁传感器简介】 基于霍尔效应的霍尔传感器，在许多领域有着广泛的应用，相应范围宽，从直流到高频均能适用；但是，对于弱磁场的测量它的灵敏度比较低。借助MEMS加工技术制作出一些高灵敏度的磁敏结构： 在刻蚀成形的硅矩形薄膜片表面上，淀积有矩形线圈， 在硅膜片的长边两侧经扭杆与框架相连，一起组成硅 膜片谐振结构。 其原理为：当正弦交变电流i流经线圈时，将激励硅膜 片以其扭转固有频率绕扭杆谐振，与此同时，施加在平 面内的外磁场B，便产生垂直于磁场和电流方向的洛伦 兹力F+,F-。在洛伦兹力的作用下，扭转谐振的振幅必将发生变化，利用电容器检测出该振幅的变化量，即可得知被测磁场的强度。 特点：由于谐振结构对洛伦兹力的灵敏度很高，对磁感应强度的分辨率可以达到10的 -9次方T级左右，故这种谐振结构的磁传感器可以用来对较弱的磁场进行测量。另外，谐振结构的磁传感器还具有噪声低、响应速度块和功耗低的特点。 【硅谐振式磁传感器简介】 利用磁场激励，和电容器检测的谐振式角速率传感 器原理。器谐振敏感元件为由硅晶体制成的音叉结 构，传感器整体由玻璃——硅——玻璃组合制成。 音叉置于永久磁铁提供的磁场中，两端通过扭杆支 撑。 其原理如下： 当交变电流流经音叉时，由于受洛伦兹力的作用，激励音叉在平面内发生弯曲谐振。在磁基础上，当有角速度Ω绕X轴转动时，又引起科氏效应，导致谐振状态下的音叉又通过扭杆绕X轴作扭转谐振动，称其为检测振动。检测振动的振幅正比于角速率。借助于电容器检测出振幅值的变化，便可得知角速率。 Thank you ! 磁传感器 新型传感技术及应用 磁传感器 本章基本内容包括： 本章基本内容包括电磁效应、洛伦兹力、霍尔效应、磁阻效应、量子力学电磁效应、霍尔传感器、硅谐振式传感器。 引 言 【 CONTENT 】 1. 概 述 2. 磁传感器的工作原理 3. 霍尔元件与霍尔传感器 4. 磁阻元件和传感器 5. 硅谐振式磁传感器简介 声表面波传感器 1.概 述 【 概 述 】 磁传感器的历史悠久，古代人就已开始利用指南针来判别方向，可以说指南针是最古老的磁传感器。但是，现在特别要求传感器输出容易处理的信号。因此，目前主要采用将磁量转换成电量的磁传感器，直接用于测量磁场强度，也可间接用来测量某些物理量。 线圈是将磁量变成电量的最简单的元件。在线圈中通以电流就会产生磁场，当线圈中得磁场一旦随时间变化，就会在线圈上感应出电动势，这就是电磁感应。利用该现象进行直接变换的元件就是线圈。磁传感器就是利用线圈的磁场变化率来进行被测量的检测的。 电磁感应 【 概 述 】 将磁场加在半导体等固体上，固体的电性质就会发生变化，这种现象称为电磁效应。基于这种物性制成的固体磁传感器，可以精确地检测从静磁场到交变磁场的强度，并转换成电信号输出。 固体磁传感器具有体积小、功耗低、便于集成化等许多优点，并通过材料选择与合理设计，能够获得很高的灵敏度和稳定度。 制作固体磁传感器的材料有磁性体、半导体、超导体等。 声表面波传感器 2.磁传感器的工作原理 【磁传感器的工作原理】 2.1电磁效应与洛伦兹力 磁场的变化，将会在它交链的电路中产生电动势，可写成： 式中，φ为磁通， φ=LI。该式直接表面了电与磁的感应效应，即电磁效应。 稳定的磁场不产生电场； 均匀变化的磁场产生稳定磁场； 不均匀变化的磁场产生均匀变化的电场。 首先分析真空中的电子运动，如无电场而只有磁场情 况下，电子只受洛伦兹力的作用。由于洛伦兹力总是 跟电子的运动方向和磁场相垂直，故不对电子做功， 它只改变电子的运动方向，而不改变电子的速率。结 果，洛伦兹力对运动的电子来说，起着向心力的作用。 若无外加磁场时，电流沿着电场方向流动，即电子朝 着与电场相反的方向移动。 【磁传感器的工作原理】 在磁场中，运动的带电粒子要受到一个与磁场和运动方向相垂直的洛伦兹力