迈克尔逊干涉光谱仪动镜倾斜误差容限分析-光子学报.pdf

第 卷第 期 光 子 学 报 ３８ ３ 　 　 　 Ｖｏｌ．３８Ｎｏ．３ 年 月 　　　　　　　　　　　　 ２００９ ３ ＡＣＴＡＰＨＯＴＯＮＩＣＡＳＩＮＩＣＡ Ｍａｒｃｈ２００９ 迈克尔逊干涉光谱仪动镜倾斜误差容限分析 ， １２ １ １ 杨庆华 ，周仁魁 ，赵葆常 （ 中国科学院西安光学精密机械研究所 空间光学研究室，西安 ） １ ７１０１１９ （ 中国科学院研究生院，北京 ） ２ １０００４９ 摘 要：系统分析了迈克尔逊干涉光谱仪中平面动镜在运动过程中发生倾斜致使反射光束偏转时 　 对干涉图的影响 结果表明，光束偏转带来的误差分为三部分：光束偏转导致整体增加的恒定光程 ． 差，垂直光轴方向因不同光线而引入的偏移光程差以及偏转光束中心相对于光轴的偏移量 从调制 ． 度和相位误差角度给出了平面动镜倾斜误差容限，并讨论了减小干涉图受光束偏转影响的方法． 关键词：干涉仪；动镜倾斜；调制度；相位误差 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） ＴＨ７４４．１ Ａ １００４４２１３２００９０３６７７４ 　　　　 　　　　 ０ 引言 间隔地测量即可得到一系列干涉强度值，对其进行 　 傅里叶变换即可得到光谱图． 迈克尔逊干涉光谱仪具有高光谱分辨率、高通 量、多通道等优点，动镜是其中唯一不断运动的部 件，光谱仪的最高分辨率取决于动镜移动的最长有 效距离，光谱仪性能的好坏，很大程度上取决于动镜 移动准确度，因此，精密动镜驱动系统是迈克尔逊干 ［］ 涉光谱仪中的一项关键技术 １ ． 动镜运动过程中存在的误差主要来源于两个方 面：一是由于匀速性不好带来的光程差采样间距误 差，它将引起相位的改变，使干涉图失去对称性；二 是动镜移动过程中的倾斜，它在降低干涉图调制度 的同时还可能带来相位误差 平面动镜倾斜会导致 ． ［］ 图 迈克尔逊干涉仪光路 ２ １ 光束偏转，而不是光束沿原路返回 本文首先简单 　 ． Ｆｉ．１ ＳｋｅｔｃｈｏｆｔｈｅｏｔｉｃｓｏｆｔｈｅＭｉｃｈｅｌｓｏｎｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒ ｇ 　 ｐ 介绍了迈克尔逊干涉光谱仪的基本原理，尔后深入 分析了对于矩形孔径光束平面动镜倾斜导致光束偏 ２ 平面