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第四章 互连线
现代工艺中的互连线
2004-9-22 清华大学微电子所 《数字大规模集成电路》 周润德 第4 章 第1 页
Intel 0.25 微米工艺互连线
5 层金属
Ti/Al - Cu/Ti/TiN
Polysilicon dielectric
2004-9-22 清华大学微电子所 《数字大规模集成电路》 周润德 第4 章 第2 页
0.35 微米高性能 0.1 微米高性能
微处理器中的互连线 微处理器中的互连线
8 层铜导线
5 层铝导线
氧化绝缘层 低k 绝缘层
钨塞
铜塞
器件 器件
2004-9-22 清华大学微电子所 《数字大规模集成电路》 周润德 第4 章 第3 页
互连线的长度分布
Pentium Pro (R)
Pentium(R) II
局域互连线 Pentium (MMX)
Pentium (R)
Pentium (R) II
）
数 标 全局互连线
点 坐 S = S
节 数 全局 芯片
对
（ S局域 = S工艺
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