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多晶酸制绒工艺文件 目录 TOC \o 1-3 \h \u 1.目的 5 2.适用范围 5 3.职责 5 4. 酸制绒工艺 5 4.1 酸制绒目的 5 4.2 酸制绒工艺原理 5 4.3 工艺流程 6 4.4 操作注意点 8 4.4.1开包和插片注意点 8 4.4.2 数量校对 8 4.4.3 抬花篮架注意点 8 4.4.4 手动操作的时候注意点 8 4.5工艺参数（ldc） 9 5. 异常处理 10 5.1黄斑 10 5.2 发亮 10 5.3 网纹过重 10 5.4 减重偏小 10 6. 检验卡片 11 7. 制绒工序控制点 12 7.1 腐蚀过程控制 12 7.2 工艺状态控制 12 7.3 化学试剂、气体源代用，更换供应厂商的控制 12 8. 设备维护标准 13 8.1 换槽维护标准 13 8.2 每周一大维护标准 13 8.3 大维护周期 13 8.4 制绒辅助用品的清洗与维护 13 9. 安全规范 14 1.目的 确保酸制绒工艺处于受控和稳定的状态。 2.适用范围 适用于本公司多晶制绒工序。 3.职责 3.1 本文件由工艺技术部负责制定、更新和修订，由工艺经理监督并保证如实执行，工艺技术部具体执行。 3.2 本文件的必须经过工艺部经理的签字认可并备案，方可交付执行。 4. 酸制绒工艺 4.1 酸制绒目的 4.1.1 去除硅片表面污染和损伤层。 4.1.2 在硅片表面得到类似半球形状的“凹陷”，减小反射率。 4.1.3 为扩散准备一个良好的基底。 4.2 酸制绒工艺原理 制绒原理：在以HF-HNO3为基础的水溶液体系中，硅片表面发生各向同性腐蚀，产生类似半球形状的“凹陷”。 HNO3作用：作为一种氧化剂腐蚀硅片，与硅反应，在硅片表面形成一层SiO2 。 HF作用：去除硅片表面形成的SiO2层。 硅的酸性腐蚀的反应式：3Si+18HF+4HNO3 3H2SiF6 +4NO +8H2O 4.3 工艺流程 多晶制绒工艺流程图 过程检验开包装盒、插片 合格 过程检验 开包装盒、插片 不合格 分类退库 分类退库 组装大花篮 上料台 上料台 1号预处理槽 1号预处理槽 2号 2号酸制绒槽 3号、4号 3号、4号QDR清洗槽 5号、 5号、6号OF清洗槽 7号 7号KOH槽 8号 8号、9号QDR清洗槽 10 10号、11号OF清洗槽 12号 12号HCl酸槽 13 13号OF槽 14 14号混酸槽 15 15号QDR清洗槽 16 16号OF清洗槽 17 17号慢提拉槽 18 18号、19号烘干槽 下料台 下料台 质检 质检 合格 不合格 转入扩散 转入扩散工序 返回制绒工段 4.4 操作注意点 4.4.1开包和插片注意点 4.4.1.1用美工刀时，深度不能超过包装盒的厚度，防止刀片将硅片划伤。 4.4.1.2整个插片过程中，禁止裸手与硅片接触，避免硅片与衣物接触； 4.4.1.3双手须戴PVC手套，手指禁止接触硅片表面； 4.4.1.4手套须洁净、无破损、无汗迹，每插400片硅片需更换手套； 4.4.1.5片盒需保持干净，不允许贴其他标签，不允许将原标签撕毁，片盒要求完整退库。 4.4.1.6插片过程中，须将崩边、严重线痕、TTV超标、翘曲、油污片、原损片（穿孔、缺角、隐裂等）、明显偏厚或偏薄等不合格硅片挑出（除包装盒上写明不合格硅片类型外）。具体标准，参考《原硅片来料检验标准》。 4.4.2 数量校对 插完一个包装盒内的硅片后，核对硅片的数量是否与泡沫盒盖上标示的相符合。 插片具体操作，参考《多晶制绒插片操作规范》。 4.4.3 抬花篮架注意点 需双人双手抓住花篮架抬，防止花篮架变形。严禁单人操作！ 4.4.4 手动操作的时候注意点 4.4.4.1 机械臂手动操作前一定要在手动状态下搜索原点，直至