高温真空_氢气烧结炉的研制.docxVIP

张春生1 刘苗苗2 齐亚军1 刘云飞1 房阳阳1 马力1 王宁1(1.西部金属材料股份有限公司 张春生1 刘苗苗2 齐亚军1 刘云飞1 房阳阳1 马力1 王宁1 (1.西部金属材料股份有限公司 陕西西安 710065; 2.宝钛集团有限公司 陕西宝鸡 721014) 摘 要: 介绍了2 1 0 0 ℃高温真空氢气烧结炉的技术性能及结构, 阐述了设备的工作过程和机构特点, 指出了安装调试过程中遇到的问题和 解决办法, 目前此种设备已设计1 0 多台套, 广泛地应用于电子材料以及其它特种材料行业中。 关键词: 真空氢气烧结炉 真空 氢气 加热器 控制系统 中图分类号: T K 1 7 5 文献标识码: A 文章编号: 1 6 7 4 - 0 9 8 X ( 2 0 1 2 ) 0 3 ( c ) - 0 0 1 1 - 0 2 高温真空 、氢气烧结炉作为一种在真 空和氢气两种状态下烧结新型材料的设 备,一台设备可以工作在不同两中环境下 的设备 ,此设备广泛应用于特种陶瓷的烧 结和电子材料的烧结 。本文介绍一种由我 们自行设计研制的2100℃高温真空氢气烧 结炉, 其特点:(1)加热器采用钨丝网编制和 焊接加工而成 ,依靠钨丝网加热器上的三 个引出电极固定在上炉盖的电极上 ,钨丝 网加热器表面复合低,使用寿命长。(2)采用 高精度控制仪器, 控温精度高, 均温区温差 ±6℃。(3)加热器外部的反射屏采用整体悬 挂式全金属屏结构 ,使得反射屏的高温变 形量已得到控制。(4)设备的控温采用日本 导电F P 2 3高精度温控仪, 使得设备的升降 温可按工艺设定曲线运行 ,以满足不同工 艺要求。(5)传动系统由涡轮蜗杆减速机控 制升降 ,减速机带动涡轮传动到滚珠丝杠 上带动下炉盖升降传动 ,滚珠丝杠和导向 杆是垂直和平行安装 ,保证炉盖的定位和 平稳。此传动机构紧凑,滚珠丝杠不受到扭 矩 、弯矩的作用 ,式丝杠处于最佳受力状 态。(6)设备的使用状态分为真空和氢气两 种工作环境, 可分别单独控制使用, 根据烧 结材料的特性选择工作环境及工艺曲线。 真空环境使用时设备的氢气控制系统停 止,则在氢气环境下使用真空系统停止。目 前此设备已通过生产长期检验 ,其性能指 标均达到了设计要求 ,广泛应用于电子行 业和其它特种材料行业。 1 设备的性能参数及构成 1.1 设备性能参数 最高温度 烧结温度 控温精度 2100℃ 2000℃ ± 1℃ 均温区温度精度 ± 6℃ 有效均温区尺寸 加热器尺寸 加热器形式 三相 Y形 加热功率 供电方式 三相 50 H z φ205mm×高300mm φ290mm×620mm 钨丝网发热体,单区 120 kW 输入端 380V(±10％) 升温速率 5～8℃/m in ( 130 0℃以下); 3～5℃/m in ( 130 0℃以上) 隔热屏 5层钨屏＋7层钼屏(共12层) 极限真空度 工作真空度 5 . 0 E - 3 P a 1 . 0 E - 2 P a 升压率 小于 1 P a / h 装料方式 上装料方式 , 手动升降 , 炉 盖旋转 工作环境 高真空或氢气环境 测温方式 钨铼热电偶 W R e 5 / 2 6 真空测量 Z D F - I I I - L E D 复合真空计 ; 电阻规管 Z J - 5 2 T 和 Z J - 2 7 电离规管 水路系统 供水压力及耗量 图1 (2100℃高温真空氢气烧结炉设备照片) 0 . 3 ～ 0 . 4 M P a 4 T / h 气体耗量 H 2 ≤ 4 ( 压力 1 . 5 - 2 . 5 k P a ) 立 方每小时 ; N 2 ≤ 6 ( 压力 1 . 5 - 2 . 5 k P a) 立方每 小时 1.2 设备的构成 2100℃高温真空氢气烧结炉是由11 个 部件组成, 其详细结构见图 1 , 2 。 图2 (2100℃高温真空氢气烧结炉结构图) 科技创新导报 S c i e n c e a n d T e c h n o l o g y I n n o v a t i o n H e r a l d 11 科技创新导报 2012 NO.09 S c i e n c e a n d 科技创新导报 2012 NO.09 S c i e n c e a n d T e c h n o l o g y I n n o v a t i o n H e r a l d 研 究 报 告 2 设备各部分工作过程及结构 (1)炉体。炉体为立式圆筒形, 炉体下端 为椭圆封头, 上炉盖为球冠形封头, 上炉盖 与炉体用密封圈密封 ,以上均采用双层水 冷结构 , 内层不锈钢 , 外层为优