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基于多层结构的光学单向隔离器的设计与仿真 *答辩人: *专业:应用物理学 *学号: *指导老师: 合肥工业大学电子科学与应用物理学院 School of Electronic Science Applied Physics, Hefei University of Technology 本文结构 实验目的 研究背景以及相关理论知识介绍 表面等离子体 FDTD算法 多层结构光学传递函数推导 等效介质理论 多层薄膜的光学传递函数设计与优化 银膜厚度对光学传递函数的影响 二氧化硅膜厚度对光学传递函数的影响 小结 光栅-多层薄膜系统光隔离器的数值仿真 光栅-多层薄膜系统的结构参数 光栅-多层薄膜系统的单向传输特性仿真 小结 致谢 实验目的 本文重点在于通过研究多层结构的银膜还有二氧化硅膜厚度对光学传递函数的影响以及对光栅周期的设计,从而实现单向导通光的目的。本文所采用的是分别在顶部还有底部加有光栅的,中间是十八层银膜以及二氧化硅膜交替的结构。 研究背景以及相关理论知识介绍 表面等离子体 表面等离子体(surface plasmon polaritons, SPs),是金属表面上的自由电子随入射光子同频率集体振荡产生的一种表面束缚的电磁波,它本质上也是一种电磁的表面波,是在金属表面上的一种非辐射的局域模式。其在表面处场强可以取得最大值,在与界面相垂直的方向是指数的衰减场,它可以被电子也可以被光波激发。表面等离子体是目前的纳米光电子学科的一个重要的科研方向。 FDTD算法 FDTD(Finite-Difference Time-Domain),中文名叫做时域有限差分法,它是最早是由K.S.Yee在一篇论文上面提出来的,后来人们又称它是Yee网格空间离散方式,这个方法在电磁波场的模拟还有弹性波长的模拟中有非常广泛的应用。它的基本思想就是通过空间和实践的离散化,这样就会是偏微分波动方程可以得到转化,成为了有限个的差分方程。如果在给定了初始条件,激励还有特定的边界条件下,我们就可以使用这个差分方程导出所求的系统的时域响应,之后我们在根据自身的需求就可以对响应进行分析计算,从而研究空间波的传播特性。 多层结构光学传递函数推导 如果用 表示第j层的特征矩阵,那么就有: 其中: 只要将 、 、 、 的表达式带进去上面的式子,我们就可以很容易的得出多层薄膜的传递系数 。 等效介质理论 等效介质理论,即EMT。 等效介质理论是在研究亚波长结构时常用的近似理论。亚波长结构具体指的是物体的特征尺寸与光波波长可比拟时,我们称之为亚波长结构。光波与亚波长结构作用时,光场的偏振起着十分重要的作用,所以普通的标量衍射理论的近似的条件就不适用了,此时要用严格的矢量衍射理论来进行分析计算。 多层薄膜的光学传递函数设计与优化 本文所设计的单向隔离器使用的工作波长为633 nm,对于二维平面波导,光的偏振为TM偏振。该装置由于是平面的结构。 我们所设计的光单向导通隔离器是基于多层结构的窄带滤波器。因此,我们首先开展单项隔离器中多层结构窄带高通滤波器的结构参数设计。 多层薄膜的光学传递函数设计与优化 银膜厚度对光学传递函数的影响 我们选用633 nm的TM(Transverse Magnetic,入射波的电场矢量E与入射面平 行,波的磁场垂直于入射面)偏振光作为实验对象。 运用控制变量法,取二氧化硅膜厚度是20 nm。 (1): 此时银膜厚度为20 nm,有较好的光学透过率,但通带较宽。 银膜厚度对光学传递函数的影响 (2): 此时取银膜厚度为25 nm,相对于20 nm,我们发现随着厚度增加,通带变窄,透过率变小。 银膜厚度对光学传递函数的影响 (3): 银取30 nm,随着厚度进一步增加,通带继续减小,透过率也继续减小,光学的传递函数的曲线波动变小。 银膜厚度对光学传递函数的影响 (4): 此时银取35 nm,由于过厚,此时透过率较小,且波动不大。 银膜厚度对光学传递函数的影响 (5): 此时银取40 nm,波动很小,透过率也很小。 银膜厚度对光学传递函数的影响 通过上述分析可知,结构的导带带宽随银膜厚度的增加而变窄,因而更有利于获得压低器件的带宽;同时,器件的透过率随银膜厚度的增加而降低。因此,我们需要的是一个恰当的银层的厚度,它既可以保持一个较理想的光通过率,也要具备窄带滤波器的功能。综合上述影响因素,平衡损耗与带宽,我
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