微电子材料与制程.docVIP

第一章 综览 (陈力俊教授 清大材料系) 第二章 半导体基本理论 (李建平教授 交大电工所) 第三章 硅 晶圆材料制? 造技术 (薛银升处长 中德电子公司) 第四章 硅晶薄膜 (游萃蓉副部经理 联华电子公司) ?????? 第五章 半导体蚀刻技术? 　 (周立人教授 清大材料系) 第六章 微影技术 (龙文安教授 交大应化所) 第七章 离子布植硅 (朱志勋副总经理 力旺科技公司) (陈力俊教授 清大材料系) 第八章 金属薄膜与制程 (陈力俊教授 清大材料系) (卢火铁协理 联华电子公司) 第九章 氧化、介电层 (郑晃忠教授 交大电工所) (蔡孟锦教授 联华电子公司) 第十章 电子构装技术 (谢宗雍教授 交大材料所) 第十一章 材料分析技术在集成电路制程中的应用 (谢咏芬总经理 闳康科技公司)???? (何快容经理 联华电子公司) 第一章? 综????? 览 什么是电子材料 微电子工业 微电子材料 材料的电性 半导体 二极管 晶体管 硅晶集成电路 集成电路制程 微电子材料特性 微电子材料的应用 未来挑战与展望 ? * 附 录 1 * 附 录 2  ?Roadmap  ?sj98slid 1. 什么是电子材料 材料依性能分类，可分为两大类 :一为反应机械功能的结构材料 ; 另一则为反应除机械以外的其它功能，如声、光、化、电、磁、热或辐射能，称为功能材料。其中功能与材料电子结构有密切关系，如电、光、磁能的材料统称为电子材料。 与电能有关材料，依其用途可分为 : (1)电力系统材料: 用于发电、输送电力。 (2)电机材料: 如电动马达、传感器、控制系统、仪器、自动化设备、升降机、电动输送系统材料。 (3)国防设备材料:如航空、太空雷达系统，声纳、发射飞弹系统材料。 (4)民生用品材料 :如各种家庭电器用品。 (5)信息材料 : 如计算器、个人计算机、通讯卫星。 由此看来，与电能有关材料真是无所不在。也因此电子材料常与金属、陶瓷、高分子材料并列为材料科学的四大学门之一。 　 图1 部分电子产品 2. 微电子工业 　 集成电路乃将各种电路组件集积于半导体表面而形成的电路。近年来集成电路几乎已成为所有电子产品的心脏。目前科技的飞速进展与集成电路的发展应用，有密不可分的关系。十九世纪工业革命主要以机器节省人力，本世纪的工业革命则主要以计算机为人脑分劳。而计算机的发展系于集成电路工业。由于集成电路微小化趋向，使电子产品得以「轻、薄、短、小」。故集成电路工业又称微电子工业。本书就微电子工业的基石微电子材料与制程作具体介绍。 微电子工业可溯源于1947年萧克莱 (W. Schockley) 等人发明晶体管取代真空管放大器。差不多在同时数字计算器的发展提供了应用晶体管的庞大潜在市场。新组件的出现与应用的配合，造就了晶体管和计算器工业的爆炸性成长。同时因为计算器、太空卫星、飞弹电子系统「轻、薄、短、小」的需求刺激了集成电路的发展。到1950年代末期，集成电路已发展到耐用可靠性相当良好的境地。自从以后，集成电路制作技术更一日千里。演变至今，各电路组件基组尺寸不断缩小（至深次微米大小，微米为一公分之万分之一，人发直径约为五十微米) ，工作速度加快(每秒可执行百亿个指令) ，耐用性增加，而价格大为降低。估计过去三十年中，电子组件基组使用量每年增加一倍，亦即每年增加数量为该年以前所有生产及使用组件基组数量总和。同期间，每执行一个工作指令的组件基组价格，却以每年百分之二十至三十的幅度降低。这种价格与功能的关系，是工业革命以来所有工业产品从未出现的异象。尤其近年来个人计算机的发展，不仅使微电子产品自工厂进入办公室及家庭，而且更促成其它各种工业作革命性的改变；如机器操作自动化，新机件自动校准，现场诊断测试能力大增，代人工作机器人的发展，资料储存及处理机、行动式通讯的日渐普遍，而渐成为所有工业进步的动力。有专家认为二十世纪与下世纪之交数十年间，一国电子业的荣否可决定其盛衰。亦有人称二十世纪中叶以后的时代为半导体时代。 图2-1最先发展之点接触电晶体之模型  图2-2最先发展之点接面晶体管(隐于小山状体内，各极由接线与电源联接)  图2-3人发，细菌尺寸与1微米之比较图  ?3. 微电子材料 微电子工业的快速发展，因素固然很多，但技术上的精进为主要因素之一。从1940年代末期晶体管问世以来，电子工业始终以基础科学为先导，日新月异。材料科学与工程，在电子工业的成长中扮演了极重要的角色。高纯度及几乎无缺陷硅晶的成长，靠「区段纯化」及「柴氏拉伸法」才得以实现，因而促成积体电子工业全面发