氮一策管的气体成分分析和腔片封接新工艺.pdf

氮一策管的气体成分分析和腔片封接新工艺 范品忠俞瑶金王世归 于志捷庄政 (中国科学院上海尤机所) 提要 分析了影响氨一氛管寿命的因素。用质谱方法对氮-氛管中气体成分进行了半定 量分析，结果指出氮一氛管的管口与腔片环氧胶封是主要的放气源，放出的气体主要 有 H2， N 00 等。 研制成功新的锢封工艺，草除了环氧有机粘结剂，使氨-氛管 和 2 2 的寿命有了显著的提高。 等放出各种有害的杂质气体，改变了氮-氛管 的气体成分。 由于氮一氛激光器6328 埃的增 -、影响氨一氛管寿命的主要因素 益甚低，因此稍有杂质出现就会影响其激光 输出，甚至使寿命终结。放气严重的管子其 氮-氛管寿命的终止，其主要原因有: 放电颜色呈淡红色(偏白)，阳极前呈蓝白色。 (1) 慢漏气:慢漏气主要包括电极引线 (4) 电极溅散:由于阴极材料和结构不 的慢漏气和腔片与管口封接处的慢漏气。前 好，工艺处理不当，表面积太小或工作电流过 者是因用作电极引线的鸽杆上有微细的纵向 大，在长期工作中，因放电正离子的轰击，使 条纹引起的，后者是由于目前普遍采用环氧 阴极严重溅散。 溅散物落在管壁和电极筒 树脂有机粘结剂的老化、变脆、龟裂所致。 一 上，使管壁和电极发黑。这些沉积物会吸附 般漏气在排气时能够发现，但有些极微小的 或掩埋管中的工作气体，使管中气体成分和 漏孔却很难检查出来。慢漏气的氮-氛管，其 放电颜色呈紫红色。 压力发生变化。 同时进一步使电极性能变 (2) 气体的清除(渗漏和吸附):激光管 坏，使溅散越来越严重，甚至使管子寿命终 放电时快速运动的粒子被拉入管壁或被管壁 止。 (5) 其他:由于管壳退火处理不好，使用 和电极吸附，或被放电溅散物所埋盖。有人 指出在硬质玻璃中这种气体清除速率要比石 日久，发生变形，破坏了谐振腔的准直。 这时 英大几个数量级，但硬质玻璃经加热后，被吸 放电颜色虽然很正常， 呈橙红色，但由于腔片 附或渗透的气体能重新放出，而石英材料，经 失调，也会使氮一氛管寿命终止。 加热后没有明显的恢复。 还有人指出，只有 当寿命超过1 万小时后，气体清除的影响才 二、气体成分分析及结果 显示出来。 (3) 放气:主要是因为元件真空处理不 在上述几种主要因素中，影响氮-朱