氮化硅陶瓷超声振动磨削机理及表面质量研究.pdf

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I ABSTRACT II 1 1 1.1 1 1.2 2 1.3 3 1.4 5 1.5 6 2 8 2.1 8 2.2 8 2.2.1 8 2.2.2 10 2.2.3 12 2.3 15 2.4 16 2.4.1 17 2.4.2 18 2.5 19 3 21 3.1 21 3.2 21 3.3 22 3.3.1 22 3.3.2 23 3.3.3 24 3.4 26 3.5 28 4 29 4.1 29 4.2 29 4.2.1 29 -III- 4.2.2 30 4.3 31 4.3.1 32 4.3.2 33 4.3.3 35 4.3.4 36 4.3.5 38 4.4 39 40 41 44 45 -IV- 1 1.1 [1]

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