第06讲 之1—Ch5 压电传感器.ppt

5.4.5 应用实例 1. 振动的监控、检测 2. 压电引信 3. 压电式料位测量系统 一点接地示意图（接地不构成回路） 由于传感器信号小、阻抗高，易受干扰，所以正确接地尤为重要。 P136：思考题与习题：1. 2. 3. 第5章 压电传感器 反之，当在某些物质的极化方向上施加电场，这些材料在某一方向上产生机械变形；当外加电场撤去时，这些变形也随之消失。这种电能转化为机械能的现象称为“逆压电效应”。 逆压电效应 压电效应可逆 有正压电效应的材料必定有逆压电效应，反之亦然。 正压电效应可用作传感器。 逆压电效应可用作蜂鸣器。 石英晶体是各向异性的。图5-1为石英晶体外形图，图中, 纵轴Z称为光轴（当光沿着这个方向传播时不产生双折射), 通过六棱线而垂直于光铀的X铀称为电轴（这个是电极化的方向），同时垂直于X轴和Z轴的Y轴 (垂直于六棱柱体的棱面)称为机械轴。 5.1.1 石英晶体的压电效应 双折射现象 图5-2是一个单元组体中构成石英晶体的硅离子和氧离子(SiO2)，在垂直于z轴的xy平面上的投影，为一个正六边形排列。 图中“＋”代表硅离子Si4+， “－”代表氧离子2O2-。 当晶体未受外力作用时，正、负离子正好分布在正六边形的顶角上，形成三个互成120°夹角的电偶极矩：P1、P2、P3。 向量的模：P = qL，其中：q为电荷量，L为正负电荷之间的距离。 三向量的合成为零，即：P1+P2+P3＝0 图5-3极化方向同受力方向的关系 5.1.2 压电常数 当晶片受到X方向作用力F1时，在垂直于电轴的平面上产生电荷q11，大小表达为 当晶片受到Y方向作用力F2时，在垂直于电轴的平面上产生电荷q12，大小表达为 切向应力 5.1.3 压电陶瓷的压电效应 内部电畴杂乱分布（见图5-6a）、宏观极化强度为零——原始的压电陶瓷呈中性，不具有压电性质。 施加外电场，电畴的极化方向发生转动，趋向于按外电场方向的排列，得到极化。去掉外电场后电畴的极化方向基本恢复到原态，没有压电特性。 在高温（比如100～170℃），施加强电场（DC20～30kV/cm），电畴的极化方向趋向于按外电场方向的排列，得到极化。持续2～3个小时后，降低温度到常温，去掉外电场，电畴的极化方向在很大程度上保持（剩余极化），这时的材料具有压电特性。 无外力作用时，剩余极化使得陶瓷的一端出现正束缚电荷，另一端出现负束缚电荷。由于束缚电荷的作用，在陶瓷片的电极面上吸附了一层来自外界的自由电荷。它屏蔽和抵消了陶瓷片内极化强度对外界的作用。 受外力作用时，电畴界限发生移动，剩余极化强度发生变化。 若保持外力作用持续变化，则极化强度持续变化，若变化足够快， 则表面电荷吸附被忽略——只能用于动态测量， 陶瓷片极化方向 5.2.1 压电晶体 5.2.2 压电陶瓷 5.2.3 新型压电材料 5.2 压电材料 石英晶体优点： 性能稳定，压电常数及介电常数温度稳定性好。 自振频率高、动态响应好、机械强度高、绝缘性能好、迟滞小、重复性好、线性范围宽。 灵敏度高、工艺成熟、成本低廉 性能稳定性等诸多方面特性不如石英晶体 压电半导体 既有压电特性，又有半导体特性，便于同电路一起做成集成块。 有机高分子压电材料 灵敏度高、机械强度高、柔软、不脆、耐冲击、方便加工成大面积 元件和阵列式元件、价格便宜。 5.3.1 等效电路 压电式传感器可以被看成是一个电荷发生器，也是一个电容器，电容值为 压电式传感器可以被等效为两种等效电路（图5.9）： 电荷源等效电路、电压源等效电路 5.3 等效电路与测量电路 考虑到传感器同放大器之间的连接，完整的等效电路还需要考虑电缆电容、放大器输入电阻、放大器输入电容等；此外还要考虑传感器泄漏电阻。于是得到的等效电路如图5.10所示。 压电式传感器的内阻很高，输出的能量很小，因此需要配备高输入阻抗的前置放大器。 一种是电压放大器，其输出电压同输入电压成正比。 另一种是电荷放大器，其输出电压同输入电荷成正比。 1. 电压放大器 等效电阻为 等效电容为 5.3.2 测量电路 假设泄漏电阻和放大器输入电阻足够大，即 则 可见：灵敏度同输入电容成反比；特别是同电缆电容有关，因此电缆不可以太长，并且仪器出厂时的电缆不可以随便更换。 同传感器集成安装的前置放大器 原图V5.12的V3输出是稳压电源，不能直接作为V2的负载，应增加RL作为V2的负载电阻。 图A是电荷放大器的等效电路 不考电阻Rf，有： 将容抗表达式代入可得： 由于电容反馈电路对于直流相当于开路，放大器的零漂会导致放大器进入非工作区，所以必须有一个Rf，Rf阻值很大，为1010～1012欧姆。 2. 电荷放大器 有专门成品可售： 5.