薄膜材料概述课件.ppt

薄膜材料概述;Leading Physical Property Analysis of Thin-Film Materials;;可能最早的纳米薄膜：古代铜镜表面的防锈层（纳米氧化锡薄膜） 其年代可以追溯到商代，甚至更早;薄膜的历史，要追溯到三千多年以前。 近30年来，真正作为一门新型的薄膜科学与技术。 目前，薄膜材料已是材料学领域中的一个重要分支，它涉及物理、化学、电子学、冶金学等学科，在国防、通讯、航空、航天、电子工业、光学工业等方面有着特殊的应用，逐步形成了一门独特的学科“薄膜学”。;;;;;;Leading Physical Property Analysis of Thin-Film Materials;;;;;;;; 在被溅射的靶极（阳极）与阴极之间加一个正交磁场和电场，电场和磁场方向相互垂直。当镀膜室真空抽到设定值时，充入适量的氩气，在阴极(柱状靶或平面靶)和阳极(镀膜室壁)之间施加几百伏电压，便在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电，氩气被电离。在正交的电磁场的作用下，电子以摆线的方式沿着靶表面前进，电子的运动被限制在一定空间内，增加了同工作气体分子的碰撞几率，提高了电子的电离效率。电子经过多次碰撞后，丧失了能量成为 “最终电子”进入弱电场区，最后到达阳极时已经是低能电子，不再会使基片过热。同时高密度等离子体被束缚在靶面附近，又不与基片接触，将靶材表面原子溅射出来沉积在工件表面上形成薄膜。而基片又可免受等离子体的轰击，因而基片温度又可降低。更换不同材质的靶和控制不同的溅射时间，便可以获得不同材质和不同厚度的薄膜。?;;;;;;;;;;;;;;Leading Physical Property Analysis of Thin-Film Materials;;;;;;;;;;;;Leading Physical Property Analysis of Thin-Film Materials;;;;;;;;;;;;;