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半导体物理Semiconductor Physics 谢谢大家! * * 雷天民 西Ⅱ-207 leitianmin@163.com 一、基本概念、方法和规律: 能带相关概念(空带、满带、导带、价带、禁带)及其形成,有效质量及其意义,空穴; k空间、布里渊区、椭球等能面、回旋共振实验、纵向有效质量、横向有效质量; 能带结构、能谷、硅的能带结构、锗的能带结构、砷化镓的能带结构、禁带宽度随温度的关系; 1)第一章: 2)第二章: 杂质与杂质能级、施主杂质与受主杂质; 浅能级杂质电离能的简单计算——类氢模型; 杂质补偿作用、深能级杂质的特点、作用及形成等 3)第三章: 热平衡载流子、k 空间量子态、导带底电子状态密度、价带顶状态密度、状态密度有效质量; 费米分布、玻耳兹曼分布、费米能级及其与杂质浓度和温度的关系、本征半导体及本征激发、本征载流子浓度; 电中性条件、杂质电离能及电离过程、简并半导体、简并化条件; 载流子冻析效应、禁带窄化效应; 4)第四章: 漂移运动、平均漂移速度、电流密度、迁移率、电导率; 平均自由时间与散射概率的关系、半导体中的散射机构(杂质散射、晶格散射等); 电阻率与杂质浓度和温度的变化关系; 热载流子、多能谷散射、负微分电导、负阻效应、高场畴、耿氏振荡 5)第五章: 非平衡载流子、光注入、少子寿命、准费米能级; 复合的相关概念、复合中心、俘获系数、金在硅中的复合作用、陷阱效应; 扩散定律、稳态扩散方程、扩散流密度、扩散电流、漂移电流、爱因斯坦关系式、连续性方程; 6)第六章: p-n结的形成及其特点; 表面态、表面驰豫、表面重构、表面电场的产生等; 金半结的形成,肖特基接触、欧姆接触等; 二、例题选讲: 例1、锑化铟介电常数ε=17,电子有效质量mn=0.014m, 试计算: 1)浅施主的电离能和基态轨道半径; 2)相邻施主上的基态电子轨道开始交叠时的施主浓度。当超过这个浓度时,将出现什么效应? (已知氢的基态电离能E0=13.6eV,玻尔半径a0=0.53?) [解] 1)利用类氢模型,基态电离能和基态轨道半径分别为 (?) 2)设想施主杂质均匀地排列成一个立方格子,那么Nd-1/3 即表示相邻杂质小心的距离。所以 当施主浓度越过这个数值时,相邻施主上的基态电子轨道将发生交叠,这时杂质能级将扩展成一个杂质能带。即束缚于杂质上的电子,可以在不同杂质原子之间转移,杂质带表现出一定的导电性。不过与晶体能带中的电子相比,杂质带中的电子运动要困难得多。只是在低温下,当能带中的载流子对电导的贡献变得很小时,杂质带的导电性才可以表现出来。 例2、试计算本征Si在室温时的电导率,设电子和空穴迁移率分别为1350cm2/V·S和500cm2/V·S。当掺入百万分之一的As后,设杂质全部电离,试计算其电导率。比本征Si的电导率增大了多少倍? [解] T=300K,μn=1350cm2/V·S,μp=500 cm2/V·S 掺入As浓度为ND=5.00×1022×10-6=5.00×1016cm-3 杂质全部电离, 查图4-14可得:μn=900cm2/V·S 增大了162万倍 例3、求室温下掺锑的n型硅,使EF=(EC+ED)/2时的锑的浓度。已知锑的电离能为0.039eV。 [解]由 可知,EFED,∵EF标志电子的填充水平,故ED上几乎全被电子占据,又∵在室温下,故此n型Si应为高掺杂,而且已经简并了。 即 故此n型Si应为弱简并情况。 其中 例4、掺有1.1×1016 cm-3硼原子和9×1015cm-3磷原子的Si样品,试计算室温时多数载流子和少数载流子浓度及样品的电阻率。 [解] NA=1.1×1016 cm-3,ND=9×1015 cm-3 可查图4-15得到 根据 查图4-14得μ,然后计算可得 例5、某p型半导体掺杂浓度NA=1016/cm3,少子寿命为10μs ,在均匀光的照射下产生非平衡载流子,其产生率g=1018/cm3s,试计算室温时光照情况下的费米能级并和原来无光照时4的费米能级比较。设本征载流子浓度ni=1010/cm3。 解、1)无光照时,空穴浓度 即:无光照时,费米能级在禁带中线下面0.36eV处。 2)稳定光照后,产生的非平衡载流子为
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