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利用干涉原理测量精密零件表面的平整情况 摘要 目前测量物体表面平整度的方法主要有机械方法与光学方法2大类.触针法是机械 方法中的代表，具有的灵敏度和很高的横向分辨率，而应用光学方法则是当相干光照射 到精密零件同一位置时，由于光波的相互位相关系，将产生光波干涉现象，利用被测面 和标准参考面反射的光束进行比较，对干涉条纹做适当变换，通过测量干涉条纹的和对 变形来检测精密零件表面平整程度，运用光的干涉来测量精密零件表面平整度能很好的 避测量工具划伤零件表面。 关键词：光的干涉，薄膜干涉，平整情况，干涉条纹 1、引言： 光的干涉［1-4］是光在传播过程中呈波动性的重要现象之一，1801年，杨氏双缝 实验历史上第一次用实验显示了光的干涉现象，其设计构思的精巧之处在于从同一波阵 面上取得了两个波源 随后，相继出现了很多了类似原理的实验装置目前，相干光的应 用己经遍及各个领域，如光相干探测相干光通信以及在遥感领域和军事领域上的应用等。 2、光的干涉原理及条件： 一般来说，光波的形式是复杂的这里我们按平面简谐波处理设两列点光源分别经 过X1,X2距离后在空间P点处相遇，其振动方程为： ，Ei(F,小 一 2龙 二 E10COS(691/ 71X1 + 010) a = , 2 兀 、 E2(Pj) = E20COS(692? nX2+ 020) zl 在P点叠加后, 由于光波的频率非常高，可见光的频率在1014HZ量级，其周期为10-14S量级，所以通 常我们观察到的是一个长时间的平均效果。因此，我们定义的平均强度为： - 1ttx ￡ J o- 2I(PZ E(P - 1 ttx ￡ J o - 2 I(PZ E(P⑴ -2 Ei 而P点的光强为 而： T—oo心）冷酣+詛2+2巴弍〈瓦，囱片cos［魏,P）M T—oo =Z + 厶 + 2』了』2 cos^lim— ［ cos ［刃,P）］dt 其中皿戶）=（? -?+刁-（冷-西）+ @0 -％）为两光波在相遇处的相位 差，其随吋间和空间位置的变化，进而引起光强的重新分布，从而决定了空间各点实际 光强分布，8为E1和E2振动方向的夹角当发生干涉时，干涉条纹可见度的公式为 cos 0 cos 0 由此可以得知发生光的干涉现象的必要条件条件是：频率相同，相差恒定，振动方向不 垂直。 3、薄膜干涉测量精密零件平整情况: 其方法是在被检测平面上放一个透明的标准样板，并在一端垫一薄片，使样板的标准 平面和被检查平面间形成一个楔形的空气薄层?用单色光从上面照射，人射光从空气层的 上、下表面反射出两列光波,于是从反射光中就会看到干涉条纹?如果被测表面是平的, 那么空气层厚度相同的各点就位于一条直线上，因此，产生的干涉条纹就是平行的；如果 被测表面某些地方不平，那里空气层的厚度相同的各点不再位于一条直线上，因此，产生 (a)的干涉条纹就要发生弯曲。 (a) 如图Q）所示，若被检查的表面A是不规则的平面,则可在 A上放一标准样板B,使其一端P相接触，另一端Q处垫一薄 片，这样便在A、B两表面间得到一个空气的劈形薄膜。若薄 膜很薄，光在薄膜表面的入射角又不大（通常我们釆用单色 光垂直入射）的情况下，等厚条纹定域在膜的表面，故眼睛 注视薄膜表面就可看到等厚干涉条纹，通过观察干涉条纹形状来判断被检表面的缺陷, 从而进行磨制以最终达到要求。 (b)若观察到的等厚条纹是如图（b）所示的平行于尖劈棱 边的等间距的直线条纹，则表明表面是精确的平面。观察 (b) (C)到的等厚条纹是如图(c)所示有局部弯向棱边，这表明在 工件表面的相应位置处有一条垂直于棱边的不平纹路，下 面我们做以具体分析，我们知道，同一等厚条纹应对应相 同的空气厚度，所以在同一条纹上，弯向棱边的部分和直 的部分所对应的空气厚度应该相等。本来越靠近棱边膜的 厚度应越小，而现在在同一条纹上近棱边处和远棱边处厚 度相等，说明工件表面的纹路是凹下去的，即在工件表面 有一垂直于棱边的凹痕。没凹痕的深度为Ah,由图(c)可知AD/AB=AE/AC,而AC为相 邻干涉条纹对应的空气厚度Z差，即为入/2,而AE即使凹痕的深度Ah,故a/b=Ah/(X (C) /2),即厶h=(a/b)(X/2)o (d)同理，若观察到的等厚条纹有局部远离棱边方向发生 弯曲，如图(d)所示，则表明工件表面有一垂直于棱边的 凸痕，凸起的高度应为：h=(a/b) (X/2)o若观察到的条纹 如图(e)所示，干涉条纹全部弯向棱边，这表明被检表面是 一很接近平面的凹球面。对于这种情形，我们可以看作是 图(0)所示的情形在整个工件表面的延展，其不平度即工 件表面偏离平面的最大偏差，在这种情形下，也即是被检表面A屮心凹下的深度厶 (d) h=(a/b)(X/2)o 相反，若观察到如图(e)