第六章 光外差检测系统.ppt

第六章 光外差检测系统 光外差检测与直接检测系统相比，具有如下优点： 测量精度高7-8个数量级； 灵敏度达到量子噪声极限，其NEP值可达10-20 W。 可用于光子计数。 激光受大气湍流效应影响严重，破坏了激光的相干性，所 以外差检测在大气中应用受限，在外层空间已经达到实用 阶段。 外差检测在高频（υ≥1016Hz）光波时不如直接检测有 用。而在长波长（近红外和中红外波段），光外差检测技 术就可实现接近量子噪声限的检测。 6.4 光外差探测系统举例 1、干涉测量技术 应用光的干涉效应进行测量的方法称为干涉测量技术。 干涉测量系统主要由光源、干涉系统、信号接收系统和信号处理系统组成。 优点：测量精度高（以波长为单位） 干涉测量基本原理：改变干涉仪中传输光的光程而引起对光的相位调制，从而表现为光强的调制。测量干涉条纹的变化即可得到被测参量的信息。 干涉条纹是由于干涉场上光程差相同的场点的轨迹形成。 可进行长度、角度、平面度、折射率、气体或液体含量、光学元件面形、光学系统像差、光学材料内部缺陷等几何量和物理量的测量。 反射器 各种反射器如图所示，有平面反射镜1、直角棱镜2、角锥棱镜3、三种猫眼系统4和固定反射镜与直角棱镜的组合5。 各种反射器 1．使用角锥棱镜反射器的干涉系统 （1）图（a）结构的主要特点是反射光束不能反馈回激光器。缺点是这种成对使用的角锥棱镜要求配对加工，而且加工精度要求高。 （2）图（b）结构只用一个角锥棱镜作可动镜，镜M1和M3还能做成一体，如图（c）所示。 （3）图（d）的布局只用一个角锥棱镜作动镜，已基本上不受镜座多余自由度的影响，而且光程增加一倍。所以也叫做双光程干涉仪系统。 光外差通信基本上都是采用CO2激光器做光源，由光发射系统及接收系统两大部分组成。 发射系统： 稳频原理: 发射波长增加，光通量亦增，输出电压增大，压电陶瓷使腔长缩短，发射频率提高，波长减短；反之，则波长加长 接收系统: 差频法测速 可分为两类： 参考光束型多普勒测速：检测散射光和入射光之间的频移（多普勒频移）； 双散射光束型多普勒测速：检测两束散射光之间的频差（多普勒频差）。 参考光束型多普勒测速 参考光束型测速方法的光路的原理图 双散射光束型多普勒测速 双散射光束型测速方法是通过检测在同一测量点上的两束散射光的多普勒频差来确定被测点处流体的流速的。如图所示为干涉条纹型。 可辨方向的LDV的结构简图 由于动镜在导轨上沿光轴移动的过程中，存在各种偶然因互的干扰（例如外界振动、导轨的平直度误差以及机械传动系统的不稳定等），使动镜产生偶然的反向运动，这种偶然的反向运动使计数器所显示的脉冲数为正反向移动的总数，而不是真正的被测长度，因此必然存在测长误差。为了解决这一问题，经光电转换并放大整形后，信号进入一方向判别电路，该电路把计数脉冲分成加、减二种脉冲，工作台正向移动时引起的脉冲为加脉冲、反向移动时引起的脉冲为减脉冲、把这两种脉冲分开后送入可逆计数器计数。 干涉信号的方向判别与计数原理 方向判别电路的原理。先在干涉系统中应用移相方法（详见后述）将干涉条纹分为两组且彼此位相偏移π/2，分别经光电转换后，输出的两组光电信号也彼此有π/2的位移偏移，这两组光电信号分别经放大、整形、倒相，变成四个位相依次差π/2的矩形脉冲，再经斯密特电路把波形变换成尖脉冲。 当工作台正向移动时，脉冲的排列为1、3、2、4 、1 ；反向移动时，脉冲排列次序为1 、 4、2、3、 1，如图所示。在逻辑电路上可根据脉冲1的后面是1或4来判别正向加脉冲或反向减脉冲，并分别逆入加脉冲的“门”或减脉冲的“门”中去，从而可得到总的加脉冲或减脉冲信号。 辩向电路原理 判向电路除提高了仪器的抗干扰能力外，还把一个周期的干涉条纹变化（即亮暗变化一次）变成四个脉冲输出信号。因此在测长时，当条纹变一条时，可逆计数器显示4个脉冲数，这等于把条纹4细分了，常称四倍频计数。此时每一脉冲代表λ/8的移动量，所测得的长度 为了提高光学干涉测量的准确度，七十年代起有人将电通讯的外差技术移植到光干涉测量领域，发展了一种新型的光外差干涉技术。 光外差干涉是指两相干光束的光波频率产生一个小的频率差，引起干涉场中干涉条纹的不断扫描，干涉场中某点处光强以低频随时间呈余弦变化 ，经光电探测器将干涉场中的光信号转换为电信号。 激光外差干涉测试技术 数据处理 双频激光器 1/4波片 准直系统 可动角 隅棱镜 检偏器 v 探测器 前置 放大器 f2 f1 f1±Δf f2 f1 f2 f1±Δf 双频激光器外差干涉测长原理图