以LinePairPattern进行水平解析度计算之研究.pdf

以Line Pair Pattern 進行水平解析度計算之研究 張維哲 林耀明 張宏彰 致茂電子股份有限公司 致茂電子股份有限公司 致茂電子股份有限公司 alvin-chang@.tw ymlin@.tw popai@.tw 壹、摘要 本研究係提出一種簡易快速相機 XY 平面的校正方法，其利用一組已知線寬與線距之標準片，透 過相機取像並利用影像處理方式計算出數條平行線之平均斜率，並利用此斜率來求出每一條條紋的直 線方程式，如此即可確保每一條條紋皆為平行之線段，再利用數學原理可求得一與平行線垂直之直線 方程式，計算此直線方程式與每一條平行線的交點，而這些交點即可求出兩平行線之影像距離，利用 量測求得之影像距離與標準片上已知之條紋間距，即可換算出每個像素點所對應的實際尺寸。此方法 可以將標準片任意擺放進行校正而無需考慮放置的垂直度與水平度，且其計算乃採用擬合方式計算， 不僅可以增加校正的速度與方便性，更可利用次像素的解析達到更精準的校正。目前此技術已實際應 用於 Chroma 7502白光干涉系統上，用來進行系統水平解析度校正使用，且該項技術亦於 2005 年申 請專利。 關鍵字： Line Pair Pattern 、水平解析。 貳、前言 相機 XY 平面校正時，乃將標有刻度的刻度尺置於相機底下，經相機取像後利用影像處理方式或 是直接在影像上選取兩刻度線位置 P1 與 P2 如圖(1) ，並計算這兩個位置的距離相差多少個像素點，而 刻度尺的每個刻度距離為已知尺寸，因此 P1 與 P2的實際距離亦可計算得出，有了實際距離尺寸資訊 以及影像點距離資訊，即可換算出每個像素點對應多少μm 。此種方式使用時需要求刻度尺的水平軸 線儘量與影像平面水平軸線平行如圖 (2) ，當有一傾角存在時，則量測出來的距離便會比實際長度來的 短如圖 (3) ，該問題便會在校正時產生誤差量，而為了調整刻度尺的水平度，則需要有相關的調整平台 搭配才較易做到，如此一方面所需的調整機構將變的較為複雜，而調整所需的時間也相對增多。 0 1 2 P1 P2 圖 1 於影像畫面上選取 P1 、P2 兩點 1 D1 P1 P2 圖 2 水平時所取得之距離 D1 D2 P1 P2 圖 3 當有一傾角時所去得之距離 D2 參、研究方法 XY 平面在未經過校正時，量測時所得到的為一以 pixels 為單位的數值，該數值並非一有意義的 物理量，若要將其轉換為一有意義的物理量來表示時，需以校正的方式來計算出兩者之間的對應比例 關係。在此校正時採用實物校正的方式來進行，目前 XY 校正所使用的為 Edmund Industrial Optics 公 司所生產之標準片，如圖 (4) ，該標準片上有數組不同密度的line pair 。 圖 4. Line Pair 標準片 由於不同鏡頭其放大倍率會不同，因此 pixel 對應到實際尺寸的比例也會不一樣，所以不同鏡頭 至少皆須校正過一次，校正完畢後可得到各自的轉換係數，此外不同倍率的鏡頭其 FOV也會不同， 因此在標準片上選擇不同 line pair