三氯氢硅合成所产生尾气的回收利用.docxVIP

三 氯 氢 硅 合 成 所 产 生 尾 气 的 回 收 利 用张 遵 秦西鸣 薛 朝 郑 斌 徐 岩（陕西天宏硅材料有限责任公司 陕西 咸阳 712000）摘 要 ： 三氯氢硅是一种重要的化工原料，在有机硅行业可用 三 氯 氢 硅 合 成 所 产 生 尾 气 的 回 收 利 用 张 遵 秦西鸣 薛 朝 郑 斌 徐 岩 （陕西天宏硅材料有限责任公司 陕西 咸阳 712000） 摘 要 ： 三氯氢硅是一种重要的化工原料，在有机硅行业可用于制备硅烷偶联剂以，它又是生产多晶硅的主要原料等。随着三氯氢硅这 种化工原料的广泛使用，产量也在逐年增加。在三氯氢硅的合成过程中，尾气的综合治理成为三氯氢硅合成工艺是否环保节能的标志。只有 既节能又环保的处理好合成中产生的尾气，才真正能够做到清洁生产，节约生产。介绍现有几种尾气处理方式，并对比它们之间的优缺点， 为技术选型做一定指导作用。 关键词： 尾气；氯硅烷；三氯氢硅；氢气；回收利用 中图分类号：X701 文献标识码：A 文章编号：1671－7597（2012）0910182－01 三氯氢硅合成装置尾气的回收利用，一直以来都是多晶硅 企业关注的问题。在合成三氯氢硅的过程中，会副产大量对后 续生产无用的混合氢气，并且此装置也不可能将全部有用成分 收集，导致在合成末端尾气中必然含有氯硅烷以及氯化氢等物 质。将这些物质直接排放，将会对环境带来极大处理压力，同 时降低了物料的利用率，提高了生产成本。 为了解决以上问题，本文介绍了几种工艺，对比了它们之 间的优缺点，对于工艺的改进以及选择具有一定的指导作用。 1 三氯氢硅合成工艺简介 将冶金硅粉放入干燥炉干燥，计量罐计量后与干燥的氯化 氢气体在流化床反应器中进行反应，生成三氯氢硅和四氯化硅 以及其它氯硅烷副产品。反应产物经过旋风以及湿法除尘后进 入水冷却器和氟利昂冷却器冷凝后得到三氯氢硅和四氯化硅的 液体，最后送入储罐区。其主要反应和副反应如下： 主反应： 业，这是比较好的方法。但此套运行控制较为复杂，控制参数 较多。 图1 双塔精馏回收尾气系统简图 2.2 利用物理吸附解吸的原理[2] 根据吸附的原理，知道吸附剂的吸附能力是与压力、温度 以及所吸附物质有关系的。通过控制温度以及压力变化，进行选 择吸附。通过设计吸附塔数量与吸附时间保证工业上的连续生 产。吸附解吸的过程是纯物理变化，操作简单控制较少，能得到 质量达标的回收物料，所以此方法在实际应用中运用最多。 副反应： 从中不难看到，主副反应均会产生与氯化氢中氢原子比例 相等的氢气，这些氢气伴随着氮气、未冷凝的氯硅烷气体以及 未反应完全的氯化氢气体一同进入尾气系统排出。 2 三氯氢硅合成尾气处理的主要方法 由三氯氢硅合成工艺可知其尾气中含有大量有用成分，这 些物料若直接作为废气进行处理，会带来大量的浪费。 工业上处理此废气主要分为两种途径，一种是化学吸收 法，即直接用碱液或清水进行洗手处理，此方法简单易行且首 次投入小。如反应式（a）和（b）所示，吸收池内会产生大量 盐类结晶，而硅酸是一种絮状物质，长期处理使用，需要耗费 大量人工对处理装置进行清理维护。 另一种是使用物理的方法将尾气中各有用物质分离加以循 环利用，在实际生产中使用物理分离循环利用的方法处理尾气 更加经济。 本文所介绍的工艺，便是使用物理方法将合成尾气中有用 物质回收，并根据需要提纯使之重新回到系统重复利用，提高 了物料使用率，降低生产成本。 2.1 单塔双段吸收和精馏组成回收系统[1] 利用此方法得到高纯氢气、氯化氢和氯硅烷，彻底消除尾 气排放。特点在于可以完全将尾气中的各种组分进行精细分 离，得到高纯的不同物料，对于需要将物料精细分离处理的企 图2 吸附解析原理简图 3 两工艺流程的简要说明 单塔双段吸收和精馏组成回收系统中，将合成三氯氢硅产 生的尾气（后文简称合成尾气）送入吸收塔，塔顶冷凝后的液 相回流至吸收塔塔顶，不凝气为氢气。塔釜排出氯化氢与氯硅 烷的混合液送给精馏塔。在精馏塔中，塔顶冷凝液相全部回 流，气相经过深冷器液相采出氯化氢，不凝气体进入吸收塔作 为进料。精馏塔的塔釜出料一部分作为氯硅烷返回系统，一部 分作为吸收塔的吸收液使用。 选择吸附工艺首先是将合成尾气经过预处理至系统所需条 件之后通入吸附塔进行吸附，通过控制吸附时间控制处理气量 （下转第137页） 182 小 于40mm， 后 加 密 封 胶 泥 填 充 小 于40mm， 后 加 密 封 胶 泥 填 充 ， 高 度 不 得 小 于 管 子 内 径 的 1.5倍，且不小于40mm。配管从非防爆区到防爆区在墙上通过 时应加入横向