粗糙度对金属V陶瓷反应润湿体系高温润湿性的影响.pdf

第 ! 卷 # 第 期 材# 料# 热# 处# 理# 学# 报 6789! # +79 $ % ’ 年 # 月 ()*+,*-(./+, /01*(2).*3, *+452*(()2*(12+( :;8 $ % ’ V 粗糙度对金属 陶瓷反应润湿体 系高温润湿性的影响 $ 吴# 茂 !# 常玲玲 !# 路# 新 !# 何新波 !# 曲选辉 !9 #%%%G! # 北京科 技 大学新材料技术研究 院 北京 $9 #%%%$H $ 中国科学院 微 电子研究所 硅器件 与集成技术研发 中心 北京 # ! !# $ *@-;I=d! KWc(?e*8/ *@-;I=d! KWc (?e 摘 要 采用 真空 座滴 法研究 了基体表 面粗 糙 度 K 对 $ ! 和 石墨 两 个 体 系 润湿 性 能 的 影响 其 中 *8/ 的 # 为 $’ C’!’ DE石墨 的 # 为 $’ CGHG DE% 结果表明 基体 粗 糙 度对 界面反应 层 厚 度 及 其 侧 向生长 润 $ ! K K ! $ % $%% T # 湿 动力 学 和最终 润湿 角 ! 均有 很 大影响 在 的润湿 温度下 随着 基体 的增 加 两个 润湿体 系 的最终 润湿 角 均 呈 上 升 S K 趋势 #高 温反应 性 润湿体 系润湿性 的好 坏 取决 于界面反应 产物 的侧 向生长 当基体表 面粗 糙 度 增 加 时 增 加 了金 属液 体 中活 性 元 素向产物 侧 向生长前 沿 扩 散 的距 离 同时粗 糙 表 面的轮廓 峰会 对 三 相线的 移 动 产生 钉扎 作 用 因此界面反 应 产 物 侧 向生 长 受 到 抑 制 #活性 元 素更 易 于 向界面处 扩 散 生成更 厚 的界面反应产物 层 #当活性金 属液 体 在 粗 糙 表 面 润湿 时 具 有 相 对 缓 慢 的润 湿 速 度 达 到润湿平 衡 的时 间也 较 短 最终 导致 较 大的 润湿 角 % 关键词 ! 反应 性 润湿 ## 粗 糙 度 ## 润湿 动力 学 ## 驱 动力 ## 润湿性 能 中图分类号 ! (F!$### 文献标志码 ! *### 文章编号 ! %%HI’$’= !$%’ $%I%%$I%G D110364’14K(1-30(’K*.044’.5066-7$+$6, ’1(0-36$T0 206-+V30(-2$35066$. 4,46024-6*$*602)0(-6K(0