传感器及应用教学课件作者陈键第一章.pptVIP

第1章 传感器的定义与分类 1.1 传感器的定义与分类 1.2 传感器的基本特性 1.3 传感器的基本误差 1.4 传感器中的弹性敏感元件 1.1传感器的定义与分类 1.1.1 传感器的定义 国家标准GB7665-1987对传感器下的定义是:“能感受规定的被测量并按照一定的规律转换成可用信号的器件或装置，通常由敏感元件和转换元件组成。” 1.1.2 传感器的分类 1.根据传感器工作原理，可分为物理传感器和化学传感器两大类 (1)物理传感器应用的是物理效应，诸如压电效应，磁致伸缩现象，离化、极化、热电、光电、磁电等效应。被测信号量的微小变化都将转换成电信号。 (2)化学传感器包括那些以化学吸附、电化学反应等现象为 下一页 返回 1.1传感器的定义与分类 因果关系的传感器，被测信号量的微小变化也将转换成电信号。 2.按照其用途分类 压力敏和力敏传感器、位置传感器、液面传感器、能耗传感器、速度传感器、热敏传感器、加速度传感器、射线辐射传感器、振动传感器、湿敏传感器、磁敏传感器、气敏传感器、真空度传感器、生物传感器等。 3.以其输出信号为标准分类 (1)模拟传感器将被测量的非电学量转换成模拟电信号。 (2)数字传感器将被测量的非电学量转换成数字输出信号(包括直接和间接转换)。 上一页 下一页 返回 1.1传感器的定义与分类 (3)膺数字传感器将被测量的信号量转换成频率信号或短周期信号的输出(包括直接或间接转换)。 (4)开关传感器当一个被测量的信号达到某个特定的阂值时，传感器相应地输出一个设定的低电平或高电平信号。 4.从所应用的材料观点出发分类 (1)按照其所用材料的类别分金属聚合物陶瓷混合物 (2)按材料的物理性质分导体绝缘体半导体磁性材料 (3)按材料的晶体结构分单晶多晶非晶材料 5.与采用新材料紧密相关的传感器开发工作，可以归纳为下述三个方向 在已知的材料中探索新的现象、效应和反应，然后使它们能在传感器技术中得到实际使用。 上一页 下一页 返回 1.1传感器的定义与分类 探索新的材料，应用那些已知的现象、效应和反应来改进传感器技术。 在研究新型材料的基础上探索新现象、新效应和反应，并在传感器技术中加以具体实施。 6.按照其制造工艺分类 (1)集成传感器用标准的生产硅基半导体集成电路的工艺技术制造的。通常还将用于初步处理被测信号的部分电路也集成在同一芯片上。 (2)薄膜传感器则是通过沉积在介质衬底(基板)上的，相应敏感材料的薄膜形成的。使用棍合工艺时，同样可将部分电路制造在此基板上。 (3)厚膜传感器利用相应材料的浆料，涂覆在陶瓷基片上 上一页 下一页 返回 1.1传感器的定义与分类 制成的，基片通常是氧化铝制成的，然后进行热处理，使厚膜成形。 (4)陶瓷传感器采用标准的陶瓷工艺或其某种变种工艺(溶胶一凝胶等)生产。 上一页 返回 1.2 传感器的基本特性 1.2.1 传感器静态特性 1.测量范围和量程 传感器所能测量的最大被测量的数值为测量上限，最小被测量称为测量下限。测量上限和测量下限所构成的区间称为测量范围。测量上限和测量下限的代数差称为量程，即量程=测量上限-测量下限。 2.传感器的线性度 理想情况下，如图1-1所示，传感器的静态特性输出是条直线;但通常情况下，传感器的实际静态特性输出是条曲线而非直线。在实际工作中，为使仪表具有均匀刻度的读数，常用一条拟合直线近似地代表实际的特性曲线，如图1-2所示。 下一页 返回 1.2 传感器的基本特性 3.传感器的灵敏度 灵敏度是指传感器在稳态工作情况下输出量变化△Y对输入量变化△x的比值。 4.传感器的分辨力 分辨力是指传感器可能感受到的被测量的最小变化的能力。也就是说，如果输入量从某一非零值缓慢地变化，当输入变化值未超过某一数值时，传感器的输出不会发生变化，即传感器对此输入量的变化是分辨不出来的。只有当输入量的变化超分辨力时，其输出才会发生变化。 5.迟滞 迟滞现象是指传感器正向特险曲线(输入量增大)和反向特性曲线(输入量减小)的不一致程度。如图1-3所示。 上一页 下一页 返回 1.2 传感器的基本特性 6.传感器的精度等级 传感器的精度等级是为了简单表示传感器测量结果的可靠程度而引用的。常见的精度等级有0. 1级、0. 2级、0. 5级、1. 0级、1. 5级、2. 0级、2. 5级、5.0级。数值越小，精度等级越高，测量越精确。 1.2.2 传感器动态特性 所谓动态特性，是指传感器在输入变化时，它的输