传感器及自动检测技术教学课件作者宋宇第4章电容式传感器.pptVIP

图4一11差动脉宽调制电路原理图 返回 图4-12差动脉宽调制电路各点电压波形 返回 图4-13二极管双T形交流电桥电路原理图 返回 图4一14电容式测厚仪传感器的安装结构示意图 返回 图4一15测厚原理示意图 返回 图4一16电容测厚仪电路原理框图 返回 图4一17电容测厚传感器在板材轧制装置电应用的原理图 返回 图4一18电容式荷重传感器结构示意图 返回 图4-19电容式加辣度传感器结构示意图 返回 图4一20电容式油量表示意图 返回 图4-21差动电容式差压变送器结构示意图 返回 图4 - 22变面积式压力传感器原理结构图 返回 图4一23 BaSrTi03陶咨电容的电容量与温度的关系 返回 * 第4章 电容式传感器 4. 1电容式传感器的工作原理及结构形式 4. 2电容式传感器测量电路 4. 3电容式传感器的应用 返回 4. 1电容式传感器的工作原理及结构形式 一、电容式传感器的工作原理 用两块金属平行板作电极，就可以构成最简单的平板电容器，如图4一1所示。两极板相互覆盖的有效面积为S，两极板间的距离为d，两极板间的介质介电常数为ε，在忽略边缘效应的条件下，平板电容器的电容C为: 由式(4一1)可以看出，ε,S，d三个参数都直接影响电容C的大小。如果保持其电两个参数不变，而使另外一个参数改变，则电容就会发生变化，通过测量电路就会转换成电量输出。这就是电容式传感器的基本原理。根据发生变化的参数不同，电容式传感器可以分为3种:改变极板面积的变面积型电容式传感器、改变极板距离的变间隙型电容式传感器和改变介电常数的变介电常数型电容式传感器。 下一页 返回 4. 1电容式传感器的工作原理及结构形式 二、电容式传感器的类型及结构形式 1.变面积型电容式传感器 通常变面积型电容式传感器的两个极板电，一个是固定不动的，称为定极板;另一个是可移动的，称为动极板。根据动极板相对于定极板的移动情况，变面积型电容式传感器又分为直线位移型和角位移型两种。 1)直线位移型电容式传感器 图4一2是直线位移型电容式传感器的示意图。 2)角位移型电容式传感器 角位移型电容式传感器的工作原理如图4一3所示。当被测量的变化引起动极板有一角位移θ时，两极板间相互覆盖的面积发生变化，从而引起电容的变化。 上一页 下一页 返回 4. 1电容式传感器的工作原理及结构形式 变面积型传感器的电容变化是线性的，灵敏度是一个常数。 变面积型传感器还可以做成其他许多形式，如图4 -4所示，常用来检测位移、振动等参量。为了提高传感器灵敏度，减小非线性误差，实际应用电多采用差动式结构，如图4 -4 ( c)所示即为圆筒变面积型差动电容式传感器，其灵敏度可提高一倍。这一类传感器多用于检测位移、角位移、尺寸等参量。 2.变间隙型电容式传感器 变间隙型电容式传感器的原理如图4一5所示。当只改变电容两极板间的距离时，电容量发生变化。 设δ和S不变，电容两极板间的初始距离为do电容器的容量为: 上一页 下一页 返回 4. 1电容式传感器的工作原理及结构形式 如图4 -5所示，电容器由于受到外力作用，两极板间距减小了△d，则电容大小变为: 如果 则 则式(4一10)可简化为: 于是 上一页 下一页 返回 4. 1电容式传感器的工作原理及结构形式 电容值的相对变化量为: 只有当 才近似为线性关系，此时传感器的灵敏度为: 由上式可以得出，增大S和减小do都可提高传感器的灵敏度，但要受到传感器体积和击穿电压的限制，并且也会引起较大的非线性误差，差动结构的变间隙型电容式传感器就可以解决这些问题，差动结构的变间隙型电容式传感器原理见图4一6。 上一页 下一页 返回 4. 1电容式传感器的工作原理及结构形式 3.变介电常数型电容式传感器 当电容式传感器电的电介质发生改变时，其介电常数变化，从而引起电容量发生变化。这种电容式传感器的结构形式很多，有介质本身的介电常数并没有发生变化，但是极板之间的介质成分发生了变化[见图4一7 (a)〕，这类传感器就可以测量电介质的厚度变化、测量位移变化[见图4 -7 (b)上测量液位[见图4一(c)等;也有介质本身的介电常数由于受到环境影响而发生变化的，如图4一7 (d)所示，这类传感器可以测量环境的温度、湿度等。 表4一1电列出了几种介质的相对介电常数。 上一页 返回 4. 2 电容式传感器测量电路 一、电容式传感器的测量电路 电容式传感器的输出电容通常都很小(几皮法到几十皮法左右)，不便于直接显示和记录，因此，需要借助一些测量电路来检测出这一微小的电容变化量，并转换为与其相适