扩散新工艺实验推广报告研究报告.pptxVIP

扩散新工艺实验 2015.5.18 实验背景： 优化工艺，提升效率。 step message 工艺设定时间/min GasFlow N2（slm） LN2（slm） LO2（slm） 0 STADNBY 0 5.0 0 0 1 BOAT IN 7 2.0 0 0 2 BOAT OUT 5 2.0 0 0 3 TESTING 0.5 6.5 0 0 4 HEAT UP 4 12.0 0 0 5 PREPURGE 2 12.0 0 1.0 6 DEPOSITION 17 12.0 1.0（0.95） 0.35 7 POSTPURGE 5 12.0 0.05 0.5 8 DRIVE IN 6 12.0 0.05 4.25（4.5） 9 DEPOSITION 2 12.0 1.0（0.95） 0.35 10 DRIVE IN 6 8.0 0.05 4.5（3.5） 11 COOLDOWN 3 12.0 0 0 12 BOAT IN 5 4.0 0 0 13 BOAT OUT 7 4.0 0 0 Recipe更改： 调整思路：降低总磷源流量，降低表面浓度，并且配合利用氧气增强扩散思路，提高开压和电流。 扩散工艺优化实验 1.1 小试实验结果 采用新工艺姊妹片验证，开压，电流有提升，效率较产线有0.022%的提升。 方案 电性能结果 效率提升 (%)