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微装配系统结构设计及位移台误差分析 张嘉易路超郝永平 (沈阳理工大学辽宁省先进制造与装备重点实验室，辽宁沈阳110159) 摘要：针对平板类微小零件装配特点,设计了一套基于真空吸附的微装配系统平台。采用真空吸附式微夹持器实现零件的 夹持、释放，采用双CCD摄像头实现对零件的位姿识别，采用定位梢度在4-6 ym的位移台实现零件的定位。分析了位移 台误差的來源，巫点计算了位移台中步进电机和丝杠的累积误差，计算结果为±1.405um,可以达到位移台的精度要求。 重复定位梏度对位移台梢度起着重要的作用，以位移台中光栅尺为基准进行闭环控制，通过大量实验验证位移台的重复定 位精度小于3 u m。 关键词：微装配；真空吸附；位移台；累积谋差；匝复定位精度 中图分类号：TP24； TH161 文献标识符：A 文章编号： Structure design of micro?assembly and error analysisof displacement instrument ZHANG Jia-yi ;LU Chao ;HAO Yong-ping (Key Laboratory of Advanced Manufacture and Equipment of Liaoning Province, Shenyang Ligong University,Shenyang 110159,China