高精度石英晶体多线切割机的研制.docxVIP

3高精度石英晶体多线切割机的研制金建华 1 ,林海波 1 ,蔡文辉 2( 3 高精度石英晶体多线切割机的研制 金建华 1 ,林海波 1 ,蔡文辉 2 ( 1. 台州职业技术学院 ,台州 31800 ) 318000; 2. 台州双辉机械设备有限公司 ,台州 摘要 :为了提高石英晶体等非金属脆硬材料的切割精度及加工效率 ,设计了用于石英晶体尤其是音叉片 的高精度自动切割加工的多线切割机床 ,研究多线切割机床关键设计技术 ,对设备中的罗拉主轴系统 、 纵向平移工作台系统 、收放线系统 、张力控制系统等技术进行研究 。以音叉片为实验验证 ,证实此方法 适用于石英晶体等非金属脆硬材料的高效精密加工 ,提高材料利用率具有稳定的运行精度和精确的定 位精度 ,在恒定张力下作高速往复运动 ,对进一步研究脆硬材料的加工工艺具有重要的指导意义 。 关键词 :音叉片 ;张力控制 ;罗拉多线切割机 中图分类号 : TH16; TG65 文献标识码 : A S tudy on H igh2prec is ion Qua r tz C ry sta l D eve lopm en t of a M u lt iW ire Sa w J IN J ian2hua1 , L IN H a i2bo1 , CA IW en2hu i2 ( 1. D ep a rtm en t of M echan ica l and E lec trica l Enginee ring, Ta izhou Voca tiona l Techn ica l Co llege, 318000 , Ch ina ; 2. Ta izhou ShuangH u i M ach ine ry Equ ipm en t Co. L td. Ta izhou 318000 , Ch ina) A b stra c t: Ta izhou 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 Key word s: 硬材料的高性能 、高精度加工设备 。多线切割机是将 一根钢线从放线筒出发 ,均匀缠绕在三个呈等腰三角 形布置的旋转罗拉 ( Ro lle r)上 ,在等腰三棱柱的底面形 成一个由几百条平行钢线组成的切割平面后 ,再缠绕 到收线筒上 (如图 1所示 ) 。程序控制伺服电机带动旋 转罗拉及收 、放线筒作往复回转 ,使钢线作高速往复运 动 ,同时保持 钢线 张力 的 恒定 。工作 台带 动 工件 (晶 棒 )上升到切割平面后以进给速度缓慢上升 。当含有 金刚砂磨料的切割液喷洒到工件和钢线切割平面上 , 钢线夹带金刚砂磨料和工件反复磨削 ,使工件被切割 。 石英晶片是石英谐振器等电子元器件的主要组成 部分 ,而石英音叉的振动频率很低 ,目前各种计时装置 0 引言 石英晶体等非金属脆硬材料器件是当今电子行业 的基础元件 ,单就石英晶体加工而言 ,我国正成为全球 最大的石英晶体器件生产基地 。目前国内一般采用多 刀切片机 、圆盘切片机切割晶片 ,不但生产率低 ,锯缝 厚 ,原材损耗大 ,更重要的是加工质量无法达到要求 。 目前发达国家已广泛采用多线 切割机用于切割高精度晶片 ,一台多线切割机生 产能力大约相当于 10台圆盘切割机 ,材料利用率提高 一倍以上 。多线切割机 (M u lti W ire Saw )简称线锯 ,是 用于切割石英晶体 、硅晶体 、陶瓷 、稀土磁性材料等脆 收稿日期 : 2010 - 02 - 22 3 基金项目 :台州市科技计划项目 ( 092 KY03 ) ; 浙江省教育厅科研项目 ( Y200806058 ) 作者简介 :金建华 ( 1964 —) ,男 ,浙江永嘉人 ,高级工程师 ,主要研究方向为机械设计及制造等 , ( E - m a il) tzvtc_ tzvtc@163. com。 ·85· ·工艺与装备 ·组合机床与自动化加工技术还要保证轴向位置一致 , ·工艺与装备 · 组合机床与自动化加工技术 还要保证轴向位置一致 ,从而使每圈钢线形成的切割 面与工作台面及晶体材料保持准确的垂直度 。特别是 在切割过程中 ,必须保证罗拉轴的轴向位置的稳定 ,要 防止由于 罗拉 轴 在运 行过 程 中温 升变 化 导 致 轴 伸 变 化 ,使钢线位置在切割过程中发生改变 ,导致晶片厚薄 不均匀 ,切痕深 ,表面粗糙度差等质量缺陷 。因此 , 在 罗拉轴系统设计时要着重考虑以下几点 (见图 3 ) : ① 罗拉轴工艺系统的刚性必需足够 。系统要承受 400 根 以上张力大于 20N 钢 线的 抱紧 和 大面 积切 割 力的 作 用 ,因此 ,在设计时要考虑主轴 、轴承 、罗拉三角支架等 相关零部件的承载能力 ; ②轴承的选用 。轴承的精度 选用