三轴压电致动平台之智慧型精密运动控制.PDFVIP

技術特輯 Special Issue 三軸壓電致動平台之 智慧型精密運動控制 本研究之目的是發展以個人電腦為控制核心，利用一個非對稱型函數連結放射狀基底函數 網路（Functional Link Radial Basis Function Network with Asymmetric Membership Function, FLRBFN-AMF）計算力控制系統來控制三維度之壓電奈 米定位平台（Piezo-Flexural Nanopositioning Stage, PFNS）。首先提出壓電奈 米定位平台之動態數學模型並加以說明，此數學模型所描述之總集不確定項，包括等效磁滯 摩擦力在內，接著提出一個採用輔助控制器之計算力控制系統來追隨參考輪廓以提高穩態響 應。由於動態壓電奈米定位平台是非線性且時變，當參數改變時計算力控制系統之性能將會 受到影響，因此，發展出一非對稱型函數連結放射狀基底函數網路計算力控制系統來估測 非線性函數，包含壓電奈米位移平台的動態總集不確定項，以提高追隨多樣的參考軌跡之性能。 作者 / 林法正、李世揚 關鍵字 / 壓電致動平台、函數連結放射狀基底函數網路、非對稱型隱藏層函數、精密運動控制 幾年來，高精度多維的壓電奈米定位平台已廣泛的 資訊，因此如何設計一個高性能的控制系統與克服磁滯現象 近使用在各種工業的應用之中，例如：高密度半導 等問題成為壓電奈米定位平台的一項艱鉅的任務。很多關於 體、掃描探針顯微鏡、微機電系統（MEMS）等等。一 個 反饋控制和前饋控制等相關控制技術之研究在近幾年來被陸 應用多維的壓電奈米定位平台掃描隧道顯微鏡[1]通常用 續的提出，反饋控制技術應用在壓電致動器的相關研究[10- 在材料工程領域掃描窗口表面可視化的極微小解析度，其 12]在最近幾年被提出來消除不要的磁滯效應。 2 2 取值範圍為從10nm 到 1µm 。一般而言，多維度的壓電奈 米定位平台是由壓電致動器和壓電彎曲機制組合而成，其 智慧型控制的方式如神經和模糊結構等動態無模型之控制技 優點是剛性高、響應速度快和奈米級位移分辨率。因此， 術。結合類神經及模糊控制之發展和複雜的系統動態行為描 許多研究都採用壓電致動器應用在奈米級定位和微米級定 述之研究已經被發表出來[13]。在這些方法中，放射狀基底 位控制，包括自適應控制、非線性控制、強健控制和智慧 函數網路（Radial Basis Function Network, RBFN）方式以局 型控制 [2-9]。 部接納來執行函數映射[14]。由於放射狀基底函數網路具有 結構簡單、收斂速度比多層感知器（Multilayer Perceptron, 在壓電奈米定位平台的輸入電壓與輸出位移之間通常存在著 MLP）網路更快等特性，因此，放射狀基底函數網路是一種 磁滯現象，不論是開迴路控制或閉迴路控制都不可避免的 強大的系統控制發展之工具[15-17]。此外，放射狀基底函 會造成致動器控制不準確或振盪現象因而降低系統的穩定 數網路通常採用對稱型隱藏層函數（Symmetric Membership 性。此外，在不同軸的動態磁滯現象通常是無法獲得其相關 Function, SMF）像是高斯函數來作為實際應用，而且放射 100 SmartAuto .tw 狀基底函數網路架構也比模糊系統簡單許多，只是若要達到 述磁滯現象。摩擦力一般可分為庫倫動摩擦力、靜摩擦力與 想要的的近似準確性，就必須使用大量的規則來應用才能達 黏滯摩擦力，而根據摩擦力行為的不同，描述摩擦力的數學 成[18]。另一方面，若將非對稱型隱藏層函數（Asymmetric 模型也會不同，其中壓電致動器之磁滯現象可利用靜摩擦力 Membership Function, AMF）取代對稱型隱藏層函數，不僅 之行