第五章(2)湿度传感器技术.pptVIP

第五章 化学量传感器(2) 露点、露点温度及相对湿度的关系 原理可以叙述为：当一定体积的湿空气在恒定的总压力下被均匀降温时，在冷却的过程中，气体和水汽两者的分压力保持不变，直到空气中的水汽达到饱和状态，该状态叫做露点。 如果空气的温度是Ts，露点温度为Td，则湿空气的相对湿度可以通过下式算出： 不同温度时水的饱和水汽压 ③ 羟基磷灰石陶瓷湿敏元件 羟基磷灰石陶瓷湿敏元件是国外研究得比较多的磷灰石系陶瓷湿敏元件。 羟基的存在有利于提高元件的长期稳定性。 当在54％RH和100％RH湿度下，以每5min加热30s（450℃）的周期进行4000次热循环试验后，其误差仅为±3.5％RH。 ④ 氧化锌-三氧化二铬陶瓷湿敏元件 上面介绍的几种烧结型陶瓷湿敏元件均需要加热清洗去污。这样在通电加热及加热后，延时冷却这段时间内元件不能使用，因此，测湿是断续的。这在某些场合下是不允许的。 为此，国外已研制出不用电热清洗的陶瓷湿敏元件。ZnO-Cr2O3陶瓷湿敏元件就是其中的一种。 ZnO-Cr2O3陶瓷湿敏元件特点： 电阻率几乎不随温度改变，老化现象很小，长期使用后电阻率变化只有百分之几； 元件的响应速度快：（0-100）％RH时，约10s； 湿度变化±20％时，响应时间仅2s； 吸湿和脱湿时几乎没有湿滞现象。 3、薄膜型 ① 氧化铝薄膜湿敏元件 ② 钽电容敏感元件 氯化锂湿敏特性曲线 ② 浸渍式（1） 浸渍式传感器是在基片材料上直接浸渍氯化锂溶液构成的。这类传感器的浸渍基片材料为天然树皮，在基片上浸渍氯化锂溶液。 这种方式与登莫式不同，它部分地避免了高湿度下所产生的湿敏膜的误差。由于采用了表面积大的基片材料，并直接在基片上浸渍氯化锂溶液，因此这种传感器具有小型化的特点。 它适应于微小空间的湿度检测。 与登莫式传感器一样，若仅使用一个这 种传感器，则所能检测的湿度范围狭窄。因 此，为了能够对传感器材料所能检测的整个 湿度范围（20-90％RH的相对湿度）都能进 行检则，就必须使用几个特性不同（改变氯 化锂溶液浓度的器件）的传感器。 ② 浸渍式（2） 在这种方式的传感器中，还有在玻璃带上浸有氯化锂溶液的另一类浸渍式湿度传感器。 这种传感器的优点是：采用两种不同氯化锂溶液浓度的传感器，就能够检测出（20-80％RH）的相对湿度。 如图所示，阻值的对数与相 对湿度（50-85）％RH成线 性关系; 同样，若仅采用一支传感器 ，则所能检口的湿度范围也 较窄。应设法用（1-1.5）％ 不同浓度的氯化锂来检测（ 40-80）％RH范围的湿度。 这样就能完成（20-80)％RH 湿度范围的检测。 玻璃带上浸LiCl的湿度传感器的感湿特性曲线 ③ 光硬化树脂电解质湿敏元件 将树脂、氯化锂、感光剂和水按一定比例配成胶体溶液，浸涂在蒸镀有电极的塑料基片上，干燥后放置在紫外线、助膜剂下曝光并热处理，即可形成耐温耐湿的感湿膜。 它可在80℃温度下使用，并且有较好的耐水性，不怕“冲蚀”，从而提高了元件的性能。 2、高分子电解质湿度传感器 ① 聚苯乙烯磺酸锂湿敏元件 ② 有机季铵盐高分子电解质湿敏元件 ③ 聚苯乙烯磺酸铵湿敏元件 ① 聚苯乙烯磺酸锂湿敏元件 此类元件是用聚苯乙烯作为基片，其表面用硫酸进行磺化处 理，引入磺酸基团（-SO4H-），形成具有共价键结合的磁化 聚苯乙烯亲水层。 为了提高湿敏元件的感湿特性，再引入氯化锂溶液，通过离 子交换Li置换出磺酸基团中的氢离子H＋，形成磺酸锂感湿 层，最后，在感湿层表面再印刷上多孔性电极。 在整个相对湿度范围内元件均有感湿特性，并且其阻值与相对湿度的关系在对数坐标上基本为一直线。实验证明，元件的感湿特性与基片表面的磺化时间密切相关，亦即与亲水性的离子交换树脂的性能有关。 元件的湿滞回差亦较理想，在阻值相同的情况下，吸湿和脱湿时湿度指示的最大差值为（3-4）％RH。 对湿敏元件进行抗水浸性能的试验（水浸两小时），结果如图所示。水浸后元件阻值略有提高，在低湿段较为明显。 why? 温度特性 ② 有机季铵盐高分子电解质湿敏元件 该类高分子湿度传感器的感湿材料含有 氯化季铵盐的高分子聚合物-丙烯酸酯，该材 料是一种离子导电的高分子材料。 感湿原理为： 大气中增加的湿度越大，则感湿膜被电离的程度就越大，电极间的电阻值也就越小，其变化与相对湿度的变化成指数关系。 有机季铵盐高分子电解质湿敏元件的主要参数 0.2 1.5 0.3 30 ±2 20～99.9 -