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洁净空气流设计及其经济意义 作者:徐腾芳物理学博士美国加利福尼亚94720伯克莱，劳伦斯巴克莱国家实验室翻译杨耀祖 文 摘 提出7个ISO 5级洁净室的空调系统进行分析和提高洁净 室能源利用率的途径，说明高效能洁净室设计的优点。 关键词 洁净室、污染控制、能源效率、换气次数、初始费用、运 行费用、环境系统。 Abstract Analysis is made tO air—conditioning system in seven c|ean_roolns of ISO 5 cleanliness class.Measures air discussed tO increase energy ettlciency of cleanroom with descriptions on advantages of energy efficient cleanroom design Key words Cleanroom Contamination control Energy ettlciency Airchange rate Initial cost Operation cost Environmental system 1前言 洁净室的作用是控制悬浮粒了浓度，因此，常常需耍大量洁净空气把污染物清 除掉或加以稀释，以便在关键的洁净室环境屮得到满意的使用效果。半导体、制 约和保健品工业中的洁净室环境系统（采暧通风空调系统）所消耗的能源比公共 建筑，例如典型的办公楼的采暖通风系统所消耗的能源要大得多。然而，在洁净室 设计和运行中，存在着使采暖通风空调系统风量过大的倾向。这是与设计过于保守, 对气流要求缺乏了解，并且与常常担心承担洁净度可靠性、设计和运行的责任有 关。诸如此类的可能因素综合起来，就很容易形成采暖、通风、空调的保 守设计。 洁净室环境系统的能源消耗随着系统设计、洁净室功能，包括温、湿度在内的 不同关键控制参数而冇所差异,特别是“洁净度级别规定的洁净度要求常常对能源 的使用产生很大影响[I]⑵。有关洁净室运行费用的文献指出，在某些欧洲国家,能源消 耗的费用已占洁净室运行、维护年度总费用的65%?75%⑶。在美国加利福尼亚， 根据洁净室洁净级别，冷却和通风能源所需的电力约在1710千瓦小时/n?至10200 千瓦小吋/m?（或160千瓦小时/英尺$至950千瓦小时/英尺沉 据美国三个洲的统计， 洁净室风机能耗量一般占采暖通风空调系统总能耗量的一半⑸。在FI本半导体晶 园加工厂的洁净室中，采暖通风空调系统所消耗的能源占整个洁净室工厂的总能 耗的43%,而送风系统就占了总能耗的30%,ISO 3、4、5级洁净室的风机能耗量,总体来 说，约占所有级别洁净室的风机能耗量的80%[7]o显然,决定洁净室运行费用的最主 要的因素，往往是洁净室的空气流量和采暖通风空调系统如何有效地向洁净室分 布经过净化和温湿度调节的空气。 因为能源费用是洁净室设施运行费用的重要组成部分，提高洁净室能源利用效 率即冇可能使费用有较大节省。由丁?近十年来世界上洁净室的数量增长迅速，并被许 多工业部门所采用，能源利用效率的提高就变得更为重要。甚至在经济衰退，工业利润 缩小的情况下，洁净室能源费用占公司利润的比例仍然增大。如果洁净室业主和工 程师能采取适当提高能源效率的冇效措施，便会得到更高的投资回报。如果冇效的污 染控制成为洁净室运行的主要任务时,如何使洁净室做到有效的污染控制就成为 工业界许多工程师经常遇到的挑战。本文探讨ISO洁净度5级的洁净室的实际环境 系统在风机系统所要求的气流和能源条件下是如何工作的，并提出高能效洁净室设 计的条件和优点。 2主旨 本文主旨为： 1） 提出7个ISO 5级洁净室的采暖通风空调系统性能分析； 2） 分析各种提高洁净室能源利用效率的途径，同吋能达到对洁净室污染的有效控 制； 3） 说明高能效洁净室设计的优点。 3方法 由于ISO 5级的洁净室是属于洁净室用暖通空调系统耗能大户,故选择ISO 5级洁 净室的暖通空调系统为例，上述ISO 5级相当于美国联邦标准209E的洁净度100级的洁 净室［8］。主要技术方法就是分析7个已投入使用的ISO 5级洁净室实际的暧通空调 系统性能，并抓住洁净室设计中提出提高能源利用效率的条件。因为不久前联邦标 准209EG宣布废除，工业部门正处于改用新的ISO洁净度等级的过渡中。因此本文 除有特别注明者外，其余均采用ISO洁净度分级标准阐述齐种问题。此外，也包括有 关评述，以对执行洁净室设计导则的注意事项和推断作某些说明。本文讨论的 主要问题有： 1） 送风空气调节机的能效； 2） 洁净室风速的平均值； 3） 与换气速率有关的洁净室气流，特别是： ■送风空气调节机的能源利用效率定义为每个调节机总