薄膜生长中的表面动力学(1)_王恩哥.pdfVIP

23 　1 　　　　 V ol .23, No .1 　2003 3 PROG RESS IN PHY SICS M ar ., 2003 :1000-0542 (200 3)01-000 1-6 1 (Ⅰ) 王恩哥 (, 　100080) 　:　 , , , , , , , , 。 , ( 0 ～ 6), 。 , , , , (T ST )。 , , 。 (Di u sion_Limited Ag gregation, DLA)。 , (Reaction_Limited A ggregation, RLA)。 。 , 。 6 , - 。 　;;;; : :　O484.1　　　　　　　　　　:　A 0 　引　言 , 、, 。, 。40 cm , 60 mm , 80 μm , /nm 。, 。 , 、、。 :2002-11-19 :973 (G2000067103); 863 (2002A A311151); “”(6002 1403);); 2 23 20 , 。 , , 、、、, 、、、 。。 , , 。, 。 , 。, , , [ 1] 。 , , 、 。, 。, , 、、、、 。 [ 2] / 。 1 　薄膜的表面形核与生长 , , 。, , 。、, , , :。 , 。; 。, 、、、、(M BE )。 , , , 。, (“”)。, , , 。, , 。。 , 。 , 。 (Scanning [3] T unneling Microscopy, ST M ) 。 , , , 　1 :(Ⅰ) 3 。 1.1　 , , 。 。, [4] Terrace_Step_Kink (T SK ) , 1 。 :T erraces, Step s, Kinks。 、、。 1　T SK 。 [ 5] 。 step ST M T SK 。 1.1.1　 , 。:(1) 。 (2 )。 (3 ) 。(4 )。 (5) 。 (6 )。 (7 ) 。 (8)。 (9 )(dimer ) 。 。 , 。 , : - Vs D =D exp (1) 0 kB T D , V , k , T 。 0 s