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真空系统的组成及各种真空泵的工作原理 在真空实用技术中，其空的获得和测量是两个最重要的方而，在-个克空系统中，其空获得的设备和测量仪器 是必不可少的。目前常用的真空获得设备主要有旋片式机械貞?空泵、汕扩散泵、涡轮分F泵、离了溅射泵、升华泵 签。真空测量仪器主要冇U型真空计、热传导真空计、电离真空计等。随着电子技术和计算机技术的发展，各种真 空获得设备向高抽速、高极限真空、无污染方向发展。各种真空测量设备与微型计算机相结合，具冇数字显示、数 据打印、自动监控和自动切换量程等功能。 究竞什么是克空系统?用-句话来概括，就是用来获得有特定要求的真空度的抽气系统。其空系统设计的娠本内 容：是根据被抽容器对真空度的要求，选择适当的真空系统设计方案，进行选、配泵计算；确定导管、阀门、捕集 器、真空测量元件等，进行合理配置，最后划出真空系统装配图和零部件图。 真空应用设备种类繁多，但无论何种真空应用设备都冇一套排除被抽容器内气体的抽气系统，以便在真空容器 内获得所需要的真空条件。举例来说：一个真空处理用的容器，用管道和阀门将它与真空泵连接起来，当真空泵对 容器进行抽空时，容器上要有真空测量装程，这就构成了一个披简单的真空抽气系统（如图1）。 1.被抽容器 2.真空衷 3.连接管道 4.真空阀门 5.真空泵 图I uv r?f单白如命爲鬲魏 图1所示的最简单的真空系统只能在被抽容器内获得低真空范围内的真空度，当需耍获得高真空范围内的真空 度时，通常在图1所示的真空系统中串联一个高真空泵。当串联一个高真空泵之后，通常要在高真空泵的入口和出 口分别加上阀门，以便高真空泵能单独保持其空。如杲所串联的高真空泵是一个油扩散泵，为了防止大量的油蒸气 返流进入被抽容器，通常在油扩散泵的入口加一个捕集器一一水冷障板。 凡是由两个以上真空泵串联组成的真空系统，通常都把抽低真空的泵叫做它上一级高真空泵的前级泵（或称前置 泵），而最高一级的真空泵叫做该真空系统的主泵，即它是最主耍的泵，被抽容器中的极限真空度和工作真空度就由 主泵确定。被抽容器出口到主泵入口之间的管路称为高真空管路，主泵入口处的阀门称为主阀。 通常前级泵乂兼作予克空抽气泵。被抽容器到予抽泵之间的管路称为予克空管路，该管路上的阀门称为予克空 管道阀。主泵出口到前级泵入口Z间的管路称为前级管道，该管路上的阀门称为前级管道阀，而软连接管道是为了 隔离前级泵的振动而设置的。 总起來说，一个较完善的真空系统由下列元件组成： 抽气设备：例如各种真空泵； 真空阀门； 连接管道； 真空测量装置：例如真空压力表、各种规管； 其它元件：例如捕集器、除尘器、真空继电器规头、储气罐等。 获得真空用真空泵。真空泵按工作条件的不同分为两类：能够在大气压下工作的真空泵称为初级泵（如机械泵）, 用来产生预备克空。需要在预备条件下才能工作的克空泵称为次级泵（扩散泵），次级泵用来进-步提高其空度,获得高 真空。 真空分段：①粗真空760?10 Pa;② 低真空10?IO, Pa;③中真空102 -10 4 Pa;④高真空10,?10饥; ⑤超高真空10」2?10-2 Pa;扩散泵是高真空泵，当机械泵的极限真空度不能满足要求时，通常加扩散泵來获得高真 空。这种泵不能从通常气斥下开始丄作，只能在低于1 P气压下才能丄作。因此，必须与初级泵串联使用。 由机械泵和油扩散泵组成的奇真空系统工作过程介绍 未抽气前，主阀活塞在下面闭合，4预真空管道阀、5前级管道阀、7放气阀均关闭。开始抽气前打开扩散泵9 冷却水，然后开机械泵，这时机械泵对4预真空管道阀5前级管道阀到机械泵出口的一段管道抽气，当抽气到一定程度 时，5前级管道阀打开,机械泵对扩散泵的前级抽气，当抽到符合扩散泵开启条件时,扩散泵电炉通电加热，这时维持 4 予真空管道風 4 予真空管道風 5 IW级爸道 6 恢建擡管il 7.放代8.级JR 9 主泵（油扩敬泵〉 10.水冷障板 图2 高真空票绽简hB 旋片式机械泵的结构图 旋片式机械泵的结构图 20?30min,以便扩散泵充分加热，进入工作状态。扩散泵进入工作状态后，5前级管道阀关闭，4预真空管道阀打开， 机械泵对被抽容器抽气，抽气达到耍求时，4预真空管道阀关闭，数秒钟后，3主阀5前级管道阀打开，扩散泵对被抽容 器抽高真空。10?水冷障板作用是防止扩散泵油蒸汽进入高真空的被抽容器。在扫描电镜真空系统中采用的是液氮低 温冷 各种真空泵的工作原理 1?旋片式机械泵 图4.1-1-1 施片式机械菜剖而图 I—进气作；2—进气门；3—頂 部密封；」一旋片： 5—泵油;6—转子:7—定子：8—岀气门；9—排 气阀片:10—Hl气口； 1 1—曲油截板 它由转子、定子、旋片（或称刮板）、活门和油槽等构成。泵的定子装在油槽中，定子的空腔时圆柱形。转