电子显微镜与其附属设备基本原理与用途.pptVIP

2.超薄切片机 A.切片机的分类：切片机分为低温切片机和常温切 片机。 B.适用范围：主要用于高分子、生物等样品的制作。 C.使用方法： a.常温切片机：将样品包埋或制成5mm直径的样 条，使用切片机将样品切在水槽内，用微栅捞 起即 可。 b.低温切片机：将弹性样品制成2～2.5mm的样 条放入切片机中。待样品、刀、腔室均达到－ 100度以下，即可制作样品。 3.离子减薄仪 A.工作原理：在高真空腔室内加入两个离子枪，当达到高 真空后，给离子枪加一定的高压电，离子枪将发射出一束 离子汇聚束，对旋转的试样进行轰击。当离子束对试样作 用一定时间后，样品中心将穿孔，空边缘将出现大量薄区。 B.适用范围：各种金属、金属化合物、陶瓷、矿物、耐温 150度以上的高分子材料等。 C.使用方法：将试样制成直径3mm，厚10～20um的园片， 放入仪器真空室内。当真空达到5*10-5Pa时，可以对样品 做减薄了。减薄的电压、电流、时间、离子束入射角度等 可以根据不同的试样加以调整。 4.EDS A.仪器的工作原理：由于电子束作用于试样上，试样上将 被激发出X－射线。我们利用Be材料作窗口，接收来自试 样的X－射线。通过处理和计算，将射线谱展开，从而得 到试样的元素组成。 B.EDS的适用范围：由于EDS采用Be做为窗口，所以他可测量的元素在B～U之间。同时尽量采用与所测量的元素不同材料，做为试样的支撑体，从而减小误差。 C.使用方法： a.透射电镜附件EDS的使用方法：EDS试样与TEM试样制作基本相同。将样品倾斜15度角，调整TEM、EDS的参数使CPS达到1000~6000之间，选择合适的试样位置后，采集X－射线谱。采集完成后，选择适当的算子对谱图进行计算。从而 得到试样中相应元素的定性、定量分析数据。 b.扫描电镜附件EDS的使用方法：SEM-EDS制样与SEM相同，定性、定量方法与TEM-EDS的使用基本相同。SEM－EDS除具有普通的定性、定量功能外，还具有线、面分析功能及其粒度分布统计功能。 C.SEM-EDS线分析功能：该功能可以测试出试样表面任意方向上的元素分布、变化规律。 D.SEM-EDS面分析功能：该功能可以表现出试样表面不同区域，元素的分布规律。 E.SEM-EDS统计功能可以准确的表现出，试样表面离子或孔径的分布规律，给出相应的分布曲线和数据。 电子显微镜实验室各类仪器使用办法 1.电镜实验室属于开放型实验室，实验室各类仪器部分对学生开放。所有开放仪器全部要求持证上机。 2.仪器上机证书每年考核一到两次，按照使用仪器的熟练程度发放不同等级的证书。 3.使用机时每人每周限定预约2小时。每周五早8点，电话预约下一周机时，并在当日上午持相应的证件到电镜室登记。 4.为更好的充分的利用机时，请大家务必安排好实验时间。取消预约必须提前两天，否则除按照原有机时收费外，停止其本人下一周的预约资格。 电子显微镜及其附属设备的结构、基本原理、用途及其使用方法 第一部分透射式电子显微镜 1.透射式电子显微镜外形及其基本结构 组成：电子光学系统； 高压系统；数据采集系统；电子控制系统；真空系统等五大部分。 电子光学系统 电子枪、电子束 加速线圈、透镜 系统、物镜系统、 成像系统、消像 散系统、电子对 中系统等 真空系统 真空系统的组成：机械泵、扩散泵、离子泵、真空管道、循环水系统等 电子枪 镜筒 照相室 DP IP RP 数据采集系统 数据采集系统包括：CCD数据采集系统、PHOTO采集系统； 高压及其电源系统 高压箱、高压电缆、高压瓷瓶、电子束发射枪、电源等。 电子控制系统 电源控制系统、电子束调整系统、电子光路调整系统、电子成像控制系统、真空控制系统、模式选择系统